Gebraucht DNS / DAINIPPON WS-820L #9391878 zu verkaufen

DNS/DAINIPPON WS-820L Nassstation ist eine hochmoderne Halbleiterausrüstung, die für die hochpräzise Lithographie und Verarbeitung fortschrittlicher Halbleitertechnologien verwendet wird. Das System wird gemeinsam von DNS, einem Hersteller von Halbleiterverarbeitungssystemen, und DAINIPPON, einem Halbleiterwerkstoffhersteller, entwickelt, um Waferbelichtungsergebnisse von höchster Qualität zu liefern. DNS- WS820L verwendet fortschrittliche hochauflösende Lithographietechniken wie Elektronenstrahl und Dipolbeleuchtung sowie E-Strahl-Scannen und -Mustern, was zu einer signifikanten Verbesserung der Merkmalsdefinition und relativ großen Overlays führt. Es verfügt über eine 6-Achsen-Hybrid-E-Beam-Einheit, die eine ausgezeichnete Prozessgleichförmigkeit über sehr große Belichtungsbereiche bietet. Die Hybridmaschine ermöglicht auch eine hervorragende On-the-Fly-Verwaltbarkeit von Dosisschiebern und anderen Parametern, was zu einer verbesserten Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit führt. Die verbesserten Eigenschaften des Werkzeugs ermöglichen auch eine Verkürzung der Belichtungszeit und eine verbesserte Produktivität. Das Asset bietet darüber hinaus hochwertige Automatisierungskapazitäten und eignet sich somit sowohl für große als auch für kleine Waferbelichtungsoperationen. Es verfügt über einen motorisierten XY-Bühnenantrieb, lichtdichte Sicherheitstüren, einen programmierbaren Autostufen-Antrieb und ein automatisiertes WaferMover-Modell oder eine manuelle XY-Bühnenbewegung sowie manuelle Wafer-Handhabungsoptionen. Darüber hinaus ist es mit einer automatisierten Nassprozessstation und Handhabungseinheit, einem hochauflösenden Edge Vision Equipment und einem hochpräzisen Vision System für präzise Wafer Imaging ausgestattet. DAINIPPON WS 820L bietet auch eine einzigartige Wafer-ID-Sensoreinheit, die Wafer genau liest und identifiziert, um Kreuzkontaminationen und Mehrfachverarbeitungsunterschreibungen zu verhindern. Zusätzlich ist die Maschine mit einem laserbasierten Berührungspositionssensor zur präzisen Substrathandhabung, einem Temperaturregler zur präzisen Temperaturregelung und einem kundenspezifischen Regler für präzise Prozessparameter und Steuerung integriert. Darüber hinaus ist es kompatibel mit einer Reihe von nassen Chemikalien, einschließlich KSC-77 Photoresist, und unterstützt eine Vielzahl von Wafergrößen von 2 Zoll bis 12 Zoll. Insgesamt ist WS-820L Nassstation ein fortschrittliches und vielseitiges Halbleiterbearbeitungswerkzeug, das entwickelt wurde, um Waferbelichtungsergebnisse von höchster Qualität zu liefern. Es ist gut ausgestattet mit einer Reihe von Automatisierungsfunktionen und integriert mit automatisierten Nassprozess- und Handhabungssystemen und bietet sowohl große als auch kleine Waferbelichtungsoperationen. Darüber hinaus ist es mit einem Wafer ID Sensing Asset und einer Reihe von anderen hochpräzisen Prozesssteuerungskomponenten ausgestattet, so dass Benutzer präzise und wiederholbare Ergebnisse erzielen können.