Gebraucht DNS / DAINIPPON WS-820L #9401439 zu verkaufen

DNS / DAINIPPON WS-820L
ID: 9401439
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Wet station, 8" Process: Nitride etch CHCL BHF (BOE) EDR H3PO4 H3PO4 H/C QDR SC-1 QDR LPD 2004 vintage.
DNS/DAINIPPON WS-820L Nassstation ist eine effiziente und genaue Lösung für eine Vielzahl von Nassprozessen in der Halbleiterindustrie. Diese Ausrüstung ist für Waferreinigung, chemisch-mechanische Planarisierung (CMP), Waferoberflächenschleifen und andere nasse Prozesse konzipiert. Das System kann bis zu 8 Wafer gleichzeitig handhaben und verfügt über eine einzigartige Triple-Düsen-Waschstation, die konsistente und hochpräzise Reinigungsergebnisse bietet. Auf diese Weise können Bediener ohne manuellen Eingriff problemlos zwischen Prozessen wechseln und den Durchsatz deutlich erhöhen. Das Gerät nutzt eine vakuumunterstützte Waschwirkung, die ein größeres Volumen und eine gleichmäßige Reinigungslösung bewirkt. Dies hilft, die Entfernung von Materialrückständen, einschließlich Staub und Partikeln, ohne Beschädigung der Waferoberfläche oder der darunter liegenden Elektronik oder Materialien zu gewährleisten. DNS WS820L verfügt auch über mechanische und chemisch-mechanische Polieren (CMP), sowohl für die Planarisierung und Wafer Oberflächenschleifen. Mechanisches Polieren wird zum Planarisieren von dicken Schichten verwendet, während CMP eine gleichmäßigere Oberflächengüte und einen höheren Durchsatz bietet. Die Maschine ist auch mit einem Temperatur- und Vibrationsüberwachungswerkzeug ausgestattet, das hilft, die richtige Bearbeitungsumgebung zu erhalten. Dies trägt dazu bei, konsistente Prozessergebnisse zu gewährleisten und Schäden an der Waferoberfläche zu vermeiden. Das Asset ist auch so konzipiert, dass es einfach zu bedienen und zu warten ist, da es über eine einfache Benutzeroberfläche verfügt und wenig Wartung erfordert. Darüber hinaus bietet DAINIPPON WS 820L auch umfassende Parametereinstellungen und Reporting-Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, ihre Prozesse zu überwachen und mögliche Probleme zu vermeiden. Insgesamt ist DAINIPPON WS-820L Nassstation eine effiziente und genaue Lösung für eine Vielzahl von Nassprozessen in der Halbleiterindustrie. Mit seiner Dreifachdüse war Station, mechanische und CMP Polierfunktionen, Temperatur- und Vibrationsüberwachungsmodell, und umfassende Parametereinstellungen und Reporting-Funktionen, ist es perfekt für eine breite Palette von Anwendungen.
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