Gebraucht ENTEGRIS Box cleaner #293667203 zu verkaufen

ENTEGRIS Box cleaner
ID: 293667203
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
12" 2003 vintage.
Ein ENTEGRIS Box Reiniger, auch als Nassstation bekannt, ist eine automatisierte Ausrüstung, die in der Halbleiter- und Photovoltaikherstellung verwendet wird, um eine Reihe von Reinigungsvorgängen durchzuführen. Es ist in der Lage, konsistente Prozessergebnisse mit minimaler Variation in der Reinigungsleistung zu liefern. Der primäre Zweck des Box-Reinigers besteht darin, die Innenflächen von Halbleiterprozessboxen zu reinigen. ENTEGRIS Box Reiniger besteht aus einer Arbeitskammer, einem Förderer und einer Sprüheinheit. Das Sprühaggregat ist in ein Rezirkulationssystem integriert, das aus einer Pumpe, einem Rezirkulationsrohrsatz und einem Filteraggregat besteht. Die Sprühvorrichtung dient zum Aufsprühen der Reinigungslösung auf die gezielten Stellen auf der Innenseite des Prozesskastens, und der Förderer wird verwendet, um den Prozesskasten durch die Nassstation zu bewegen. Wenn der Prozesskasten in den Arbeitsraum gelangt, wird er in der richtigen Position für die durchzuführenden Box-Reinigungsoperationen auf den Förderer gelegt. Der Förderer trägt dann den Kasten über die Arbeitskammer. Während des Prozesses sprühen Düsen die Reinigungslösung auf die Zieloberflächen in der Box und eine Rezirkulationseinheit sorgt dafür, dass die Lösung wiederverwendet und auf einer konstanten Temperatur gehalten wird. Nach Abschluss des Reinigungsprozesses hebt eine Hebebühne die Box vom Förderband auf eine Trocknungsstation. Die Box wird mit Druckluft durch Düsen getrocknet, die helfen, die Feuchtigkeit aus der Box zu entfernen. Der Einsatz von ENTEGRIS Box Cleaner trägt dazu bei, die Sauberkeit und Zuverlässigkeit der Prozessboxen zu verbessern, indem eine konstant saubere Oberfläche für die darin gelagerten Teile und Komponenten bereitgestellt wird. Die Rezirkulationsmaschine hilft auch, den aus dem Reinigungsprozess entstehenden Abfall zu reduzieren und spart letztlich Geld und Ressourcen. Dieses automatisierte Werkzeug ist eine effiziente und effektive Lösung zur Reinigung der Innenflächen von Halbleiterprozessboxen.
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