Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Aries #9384182 zu verkaufen

FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Aries
ID: 9384182
Surface preparation system.
FSI (TEL) FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Widder ist eine Art Nassstation, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist ein hocheffizientes Werkzeug, das verwendet wird, um Wafer während des Herstellungsprozesses zu reinigen, zu spülen und zu ätzen. Mit eingebauten Modulkonstruktionen kann diese Nassstation bis zu fünf 200mm oder vier 300mm Wafer mit maximaler Effizienz handhaben. Die Station FSI Widder besteht aus vier Hauptkomponenten: der Heizungsduscheinheit, dem zentralen Touch-Controller, der Reinigungseinheit und der Ätzeinheit. Die Heizungsduscheinheit besteht aus einer Reihe von Gasstrahlen, die vom Bediener ausgelöst werden. Diese Strahlen geben Hochdruckstrahlen eines vorgegebenen Reinigungsmediums wie entionisiertes Wasser, entionisierter Alkohol oder ein Ätzmittel ab, um die Waferoberfläche gründlich zu reinigen. Der zentrale Touch-Controller ist ein Flachbildschirm, der es dem Bediener ermöglicht, die Heizung Duscheinheit, Reinigungseinheit und Ätzeinheit mit Leichtigkeit und Präzision zu steuern. Die Reinigungseinheit ist ein expandierbares Gefäß mit einer rotierenden Spindel, die je nach Modell bis zu fünf (200mm) oder vier (300mm) Wafer aufnimmt. Die Drehzahl, der Druck und der pH-Wert sind entsprechend den Anforderungen des Prozesses einstellbar, und die Reinigungsmedien können entweder ein Ätzmittel oder entionisiertes Wasser sein. Die Wafer in der Reinigungseinheit sind Hochdruckstrahlen von Reinigungsmedien ausgesetzt, die durch einen externen Behälter sicher gesammelt werden. Die Ätzeinheit ist ein Hochdruckduschsystem, mit dem bereits gründlich gereinigte Wafer geätzt werden. Seine Hauptkomponenten sind ein Duschkopf, der Hochdruckstrahlen von Ätzmittel emittiert, ein Venturi-System, um das Ätzmittel in die Einheit zu ziehen, und eine Gasströmungssteuerung, um die Ätzzeit zu regulieren. Die Ätzeinheit ist sowohl benutzerfreundlich als auch effizient ausgelegt, so dass der Bediener Wafer effektiv und präzise ätzen kann. Abschließend ist TEL Widder eine Feuchtstation, die zum Reinigen, Spülen und Ätzen von Wafern entwickelt wurde. Es besteht aus vier Hauptkomponenten, die zusammenarbeiten, um Effizienz und Sicherheit zu maximieren, und es ist so konzipiert, dass es einfach zu bedienen und zu bedienen ist. Diese Nassstation ist ein wichtiges Werkzeug in der Halbleiterindustrie und hilft, den Herstellungsprozess schneller und genauer zu machen.
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