Gebraucht FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Magellan #9400272 zu verkaufen

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellan ist eine Nassverarbeitungsstation, die den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Sie ist für Anwendungen wie Spin-on-dielektrisch, Lift-off, Ätzen und Abscheiden konzipiert. FSI Magellan ist in der Lage, große Substrate mit einer Größe von bis zu 400 x 500 mm zu verarbeiten. TEL Magellan ist in der Lage, verschiedene fortschrittliche Lithographie-Prozesse wie hohe Seitenverhältnisse Lückenfüllung, Abheben und Stiktion Kontrolle durchzuführen. Es verfügt über eine präzise zweiachsige optische Stufe mit einer maximalen Translationsgeschwindigkeit von 0,5 μ m/sec und einer Positioniergenauigkeit von 1,5 nm. Die Bühne unterstützt Wafer von 1 Zoll bis 8 Zoll mit einer Handhabungskraft von bis zu 1,5 N. Magellan ist mit einer preisgekrönten E-Beam-Lithographie-Ausrüstung für eine präzise Zeitsteuerung ausgestattet. Das integrierte System ist mit einer Vielzahl von programmierbaren Leistungselektroden kompatibel und ermöglicht eine präzise Spannungs- und Stromkombination. Das Gerät ist in der Lage, hochauflösende Bilder mit einer maximalen Auflösung von bis zu 5,5 μ m bereitzustellen. TOKYO ELECTRON Magellan ist kompatibel mit einer Reihe von verschiedenen Single-Wafer-Prozesschemikalien wie wässrig, organisch und giftig. Die Station ist auch mit verschiedenen automatisierten naßchemischen Prozessen wie Waschen, Ätzen und Abscheiden ausgestattet. Die integrierte automatisierte Maschine ist in der Lage, hochvolumige Prozesse mit präziser Steuerung durchzuführen. Darüber hinaus ist die Station mit einer umfassenden Sicherheits- und Umweltschutzausrüstung ausgestattet. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Magellan ist auf maximale Produktivität ausgelegt und ermöglicht eine fehlerfreie Verarbeitung mit schneller Wende. Die Station ist benutzerfreundlich und bietet eine schnelle und einfache Installation. Die Station bietet auch eine intuitive Bedienung mit einer Vielzahl von Funktionen wie Rezeptmanagement und Prozessüberwachung. FSI Magellan wird von der FSI 'Easy-to-Use' Software unterstützt, die es dem Benutzer ermöglicht, eigene Prozessrezepte zu entwickeln und Daten zu speichern. TEL Magellan ist eine multifunktionale Nassstation, die von der einfachen Ätzung bis zur hochkomplexen Lithographie eine ganze Reihe von Prozessen bereitstellen kann. Es wurde entwickelt, um Anwendungen mit hohem Volumen und hoher Genauigkeit zu unterstützen und kann eine schnelle Produktionswende erleichtern. Magellan bietet zudem eine benutzerfreundliche Oberfläche sowie umfassende Sicherheits- und Umweltschutzmaßnahmen.