Gebraucht JST ST0142A0 #9188197 zu verkaufen
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ID: 9188197
Weinlese: 2010
Solvent wet bench
Ultrasonic bath with PLC control 12” x 12”
Hot plate with PLC control: 8” x 8” (Plate) Tank larger
Sink with faucet 16” x 12”
2010 vintage.
JST ST0142A0 Nassstation ist eine automatisierte Nassverarbeitungsanlage für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen. Das System bietet eine hervorragende Qualitätskontrolle und ist in der Lage, mit anderen Halbleiterverarbeitungsgeräten integriert zu werden. ST0142A0 besteht aus vier Hauptkomponenten: einem Großrechner, einem Endstufen-/Krafttisch, einem nassen Prozessarm und einem Steuermodul. Der Großrechner beherbergt den Endtisch/Krafttisch und den nassen Prozessarm und ist aus leichtem Aluminiumlegierungsmaterial aufgebaut. Sein starres Design minimiert die Geräuschübertragung und sorgt für Zuverlässigkeit. Der Endstufen-/Krafttisch ist in der Lage, sich entlang dreier Achsen mit einer Durchschnittsgeschwindigkeit von 0,25 m/s zu bewegen. Die X-Achse sorgt für eine linke/rechte Bewegung, die Y-Achse für eine Aufwärts-/Abwärtsbewegung und die Z-Achse für Kraft und Neigung. Die aufgebrachte Kraft ist von 0-1000 kgf einstellbar. Zusätzlich kann sich der Endstufen-/Krafttisch mit einer Durchschnittsgeschwindigkeit von 0,31 m/s auf einer einzigen Achse drehen. Der nasse Prozessarm besteht aus einem Aluminium-Flexarm, der vier Bewegungsachsen aufweist. Dazu gehören die X/Y-Achsen mit einer Durchschnittsgeschwindigkeit von 3 mm/s und einer Reichweite von 200 mm sowie die Rolle/Neigungsachsen mit einer Durchschnittsgeschwindigkeit von 2 Grad/s und einer Reichweite von 20 Grad. Der nasse Prozessarm kann bis zu 3 kg Kraft autokollieren und ist zudem mit einem Vier-Düsen-Durchflussventil zur präzisen und genauen Dosierung von Reinigungsmaterialien ausgestattet. Das Steuermodul von JST ST0142A0 wet station beinhaltet sowohl manuelle als auch softwarebasierte Bedienung. Im manuellen Modus kann der Benutzer alle nassen Prozessfunktionen manuell steuern. Die softwarebasierte Bedienung ermöglicht es dem Anwender, eine Vielzahl von automatisierten nassen Prozessrezepten zu programmieren, die Verschmutzungswerte zu analysieren und zu steuern und den nassen Prozess weiter anzupassen. ST0142A0 Nassstation eignet sich hervorragend für eine Vielzahl von Anwendungen bei Halbleiterherstellungsprozessen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf, Reinigung und Oberflächenvorbereitung. Das optimierte Design und die überlegenen Automatisierungsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für Anwender, die eine zuverlässige und hochwertige Nassverarbeitungsmaschine suchen.
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