Gebraucht LAM RESEARCH DV-38DS #9095949 zu verkaufen

LAM RESEARCH DV-38DS ist ein Allzweck-Nassverarbeitungsmodul, das speziell für den Einsatz in Ätz-, Reinigungs- und Beschichtungsvorgängen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Diese All-in-One-Nassstation, die über eine digitale Geräteschnittstelle (DSI) gesteuert werden kann, ermöglicht eine präzise Steuerung verschiedener Prozessparameter wie Temperatur, Druck, Durchfluss und Chemikalien. Die eingebauten Funktionen reduzieren zudem das Fehler- und Fehlerpotenzial durch unzureichende Überwachung. LAM RESEARCH Nassstation ist mit einem ultrascharfen 2D-Scanner ausgestattet, der die gesamte Oberfläche des Werkstücks inspizieren und ein genaues Feedback über die Qualität der Verarbeitung liefern kann. Die Station verfügt außerdem über ein Strahlsystem, mit dem die Düse exakt positioniert werden kann, um eine hochauflösende Strukturierung durchzuführen. Um eine gleichmäßige Abkühlung während des Ätzvorgangs zu gewährleisten, ist auch eine vorgerückte Kühleinheit vorgesehen. Diese Kühlmaschine kann hochpräzise sein, so dass Temperaturanpassungen mit digitaler Präzision vorgenommen werden können. LAM RESEARCH Nassstation kommt auch mit einem einzigartig gestalteten Rezirkulationswerkzeug, das sicherstellt, dass die Prozessflüssigkeit effizient in der gesamten Station zirkuliert. Diese Zirkulationsanlage trägt dazu bei, die Gleichmäßigkeit der Verarbeitung über die gesamte Arbeitsfläche zu gewährleisten, wodurch Hot Spots und andere in der manuellen Verarbeitung übliche Inkonsistenzen beseitigt werden. Der Rezirkulationsprozess reduziert auch den Wasser- und Chemieverbrauch und spart Zeit und Geld. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Nassstation über ein fortschrittliches Chemikalienliefermodell, das darauf ausgelegt ist, Chemikalien während des Ätzprozesses präzise zu mischen, um Gleichmäßigkeit und vollständige Konsistenz zu gewährleisten. Schließlich verfügt die Station auch über eine integrierte Reinigungseinrichtung, die Verunreinigungen vor Beginn des Ätzprozesses automatisch von der Oberfläche des Werkstücks abspült. Insgesamt ist DV-38DS Nassstation ein zuverlässiges und effizientes Allzweck-Bearbeitungsmodul für Ätz-, Reinigungs- und Beschichtungsvorgänge in der Halbleiterbauelementfertigung. Seine erweiterten Funktionen bieten eine verbesserte Prozesskontrolle und verbesserte Sicherheit aufgrund seiner genauen Überwachungsfunktionen. Darüber hinaus sind seine kostensparenden Einbaueigenschaften, wie das Rezirkulationssystem, die chemische Fördereinheit und die integrierte Reinigungsmaschine, eine ausgezeichnete Wahl für die Halbleiterverarbeitung.