Gebraucht LAM RESEARCH DV-38DS #9095950 zu verkaufen

LAM RESEARCH DV-38DS ist eine Nassverarbeitungsstation zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist in der Lage, mehrstufige Prozesse wie Entwicklung, Ätzen, Strukturierung und Reinigung für eine Vielzahl von Gerätesubstraten. Die Station besteht aus einer Haupteinheit, einem Revolver und mehreren verschiedenen Prozessmodulen. Die Haupteinheit der Station ist ein großes Aluminiumgehäuse, in dem die elektrischen Komponenten, Pumpen und Prozessflüssigkeiten untergebracht sind. Der Revolver ist ein einziger Drehkopf auf der Oberseite der Station, der bis zu acht Waferkassetten für die mehrstufige Verarbeitung aufnimmt. Die verschiedenen Prozessmodule umfassen ein Nassätzmodul, ein Spinnspülmodul und ein Trocknungsmodul. Das Nassätzmodul enthält einen Ätzbehälter - eine große Kammer, die das Ätzmittel aufnimmt und an die Wafer abgibt. Dieses Ätzmittel kann eine Einzelkomponente (z.B. Salpetersäure, Schwefelsäure oder Salzsäure) oder eine Mehrkomponentenlösung (z.B. HF-IPA) sein; und die Kammer wird kontinuierlich mit frischen Chemikalien gespült, um die Ätzumgebung sauber zu halten und Verunreinigungen zu verhindern. Das Spinnspülmodul enthält die Spültanks - zwei große Tanks, die Prozessflüssigkeiten enthalten und sauberes Spülwasser den Wafern zuführen. Dieses saubere Spülwasser wird benötigt, um Rückstände aus dem Ätzprozess zu entfernen, und kann entweder DI-Wasser oder eine in situ Spüllösung für eine bessere Reinigung sein. Schließlich enthält die Station auch ein Trocknungsmodul, das Heißluft oder Stickstoff verwendet, um die Wafer schnell zu trocknen, bevor sie entladen werden. Dies ist wichtig, da jegliche Restätz- oder Spülflüssigkeit korrosiv sein und die Vorrichtung zu Fehlfunktionen führen kann. DV-38DS ist eine hochzuverlässige Nassverarbeitungsstation, die die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente erleichtert. Es wurde entwickelt, um eine präzise Kontrolle über einzelne Prozessschritte zu bieten, und seine modularen Prozessmodule machen es einfach, für verschiedene Anwendungen anzupassen. Darüber hinaus ist die Station mit der Rezeptsprache LAM LEVEL-1 kompatibel und ermöglicht eine präzise Kontrolle der Programmierung von Verarbeitungsrezepten. Insgesamt ist LAM RESEARCH DV-38DS eine hervorragende Nassstation für jedes Halbleiterherstellungslabor.