Gebraucht LEYBOLD HERAEUS D16B #9355959 zu verkaufen

LEYBOLD HERAEUS D16B
ID: 9355959
Rotary vane pump.
LEYBOLD HERAEUS D16B Nassstation ist eine fortschrittliche, hochleistungsfähige stationäre Ätzausrüstung für Halbleiter- und Mikroelektronik-Anwendungen. Es ist in der Lage, Mikrostrukturen mit präziser Genauigkeit bei hohen Ätzraten zu ätzen. Das System ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, darunter: erweiterte Prozessüberwachung, automatisches Tuning, Stapelverarbeitung, benutzerdefinierte Ätzrezepte und Protokolle für die Prozesshistorie. Die zuverlässige Hochleistungspumpe von LEYBOLD HERAEUS D1,6B ermöglicht die Verarbeitung der Ätzlösungen bei bis zu 450 Litern pro Stunde. Das Gerät ist in der Lage, eine breite Palette von Ätzchemikalien zu verarbeiten, die Lösungsmittel, MA Etches und Lösungen auf Ammoniakbasis umfassen. Die hocheffiziente Pumpmaschine sorgt zudem für eine schnelle und zuverlässige Materialabgabe und verhindert die Notwendigkeit von Wasserabbruchbehältern. Das Werkzeug ist mit einem fortschrittlichen Überwachungs- und Steuermodul ausgestattet, das eine präzise Steuerung der Ätzparameter gewährleistet. Es bietet automatische Abstimmung (AT), die die Ätzgeschwindigkeit und Parameter entsprechend dem zu verarbeitenden Material anpasst, um einen vorhersagbaren Ätzprozess aufrechtzuerhalten. Es verfügt auch über eine verbesserte Prozess-Protokollierung Asset, die Ätzergebnisse und Parameter für jedes Ätzrezept aufzeichnet. Alle Prozessinstanzen können im Modellprotokoll gespeichert werden, um die Parameter jedes geätzten Wafers und historische Informationen zu überprüfen. Die Ausrüstung bietet auch Batch-Verarbeitungsfunktionen; Ätzaufträge können in D1.6B eingegeben werden, und das System verarbeitet jeden Auftrag automatisch innerhalb eines voreingestellten Stapels. Dies hilft, Zeit zu sparen und die Wiederholbarkeit des Prozesses hoch zu halten. Darüber hinaus ist D16B Nassstation für hohe Zuverlässigkeit und Sicherheit ausgelegt. Die Komponenten der Station sind IP44 zertifiziert, und verschiedene Sicherheitsfunktionen werden installiert, um Fehlbedienungen und gefährliche chemische Freisetzungen zu verhindern. Die Station enthält verschiedene Alarme und Warnsignale für den Umgang mit Notfällen. Abschließend ist D1,6B Nassstation eine fortschrittliche Ätzeinheit, die präzise Mikrostrukturen von hoher Qualität mit ausgezeichneter Prozesswiederholbarkeit herstellen kann. Seine Reihe von Funktionen, einschließlich Prozesssteuerung, Auto-Tuning, Batch-Verarbeitung und Log-Speicher, machen es für verschiedene Halbleiter- und Mikroelektronik-Anwendungen geeignet.
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