Gebraucht RENA Wetbench #9097152 zu verkaufen

RENA Wetbench
Hersteller
RENA
Modell
Wetbench
ID: 9097152
Wafergröße: 5"
Wet processors, 5".
Eine RENA Wetbench ist eine Nassverarbeitungsstation, die eine Vielzahl von Wet Processing-Aufgaben effizient und sicher erledigt. Zu den Hauptfunktionen gehören Photoresist Ashing, Photoresist Strip, Photoresist Develop, Etching, Plating und Rinse/Dry. Die Geräte verwenden fortschrittliche Technologie, um optimale Ergebnisse zu erzielen und gleichzeitig jedes Modul individuell zu steuern und eine vollständige Prozessnachverfolgbarkeit zu gewährleisten. Wetbench besteht aus einem Edelstahlsockel, einer motorisierten Werkzeugstation, einem flachen Sumpf, einem Entsorgungssystem, Pumpen, einer Vakuumfilteranlage, einem chemischen Recycler und einem chemischen Umverteiler. Die Basis besteht aus einer Edelstahlplatte, die von modularen Blöcken getragen wird, die auf einem höhenverstellbaren Edelstahlrahmen montiert sind. Die Werkzeugstation kann eine Vielzahl von Werkzeugen aufnehmen und bietet eine bequeme Möglichkeit, die Werkzeuge zu wechseln. Der flache Sumpf ist mit entionisiertem Wasser gefüllt, um eine sichere und effiziente chemische Eindämmung zu gewährleisten. Die Entsorgungsmaschine sorgt dafür, dass gebrauchte Chemikalien sicher gesammelt und entsorgt werden. Im Photoresist Ashing Modul werden Hochgeschwindigkeitsflammen verwendet, um schnell als Photoresist von Substraten zu arbeiten, um einen effizienten und sauberen Prozess zu gewährleisten. Das Modul Photoresist Strip wurde entwickelt, um eine schnelle und zuverlässige Entfernung von Photoresist zu ermöglichen. Das Modul Photoresist Develop kann sowohl für positive als auch negative Photoresist-Prozesse verwendet werden. Es kommt mit einem eingebauten Duschkopf, der eine gleichmäßige Verteilung von Chemikalien für eine gleichmäßige Entwicklung und erhöhten Durchsatz bietet. Das Ätzmodul ermöglicht das präzise Ätzen von Substraten mit einer Auswahl an Chemikalien. Seine einstellbaren Zykluszeiteinstellungen und erweiterten Temperaturkontrollsysteme sorgen für hohe Qualitätsergebnisse. Das Beschichtungsmodul bietet eine Reihe von einfach zu bedienenden Verfahren zum Beschichten mit Gold, Silber, Nickel und Palladium. Die fortschrittliche Software bietet Flexibilität für kundenspezifische Spezifikationen und optimierte Beschichtungsergebnisse. Das Spül-/Trockenmodul verwendet Hochgeschwindigkeits-Luftstrahlen für effektives und effizientes Wasserspülen und Trocknen von Substraten. Sein effizienter und wiederholbarer Prozess hilft, die Effizienz zu verbessern und eine fehlerfreie Leistung zu gewährleisten. Das Vakuumfiltermodul verfügt über eine Vakuumpumpe und einen Vorfilter zur Filtration des Spülwassers vor dem Recycling. Der chemische Recycler ist für einfache und sichere chemische Lagerung und Recycling konzipiert. Es verfügt über ein Stapelwerkzeug, das die Speicherkapazität maximiert und die Notwendigkeit reduziert, große Trommeln zu handhaben. Schließlich verbindet sich der Chemical Redistributor mit dem Recycler und bietet einfachen Zugang zu allen Chemikalien, die in RENA Wetbench verwendet werden. Insgesamt ist Wetbench eine leistungsstarke und effiziente Nassverarbeitungsstation. Der fortschrittliche modulare Aufbau unterstützt eine Vielzahl von Prozesschemien und ermöglicht die Rückverfolgbarkeit jedes Schrittes. Die integrierten Pumpen, Filter und chemischen Recycler bieten eine verbesserte Prozesssteuerung und Flexibilität. Als solches ist RENA Wetbench ideal für eine breite Palette von Forschungs- und kommerziellen Prozessen wie Halbleitergeräteherstellung, Medizintechnikforschung und MEMS-Komponenten-Fertigung.
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