Gebraucht SINGULUS Silex SDE800 #9299897 zu verkaufen
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ID: 9299897
Wet processing system
(5) Chambers
(2) Conveyors
SIEMENS Simaticrack PC.
SINGULUS Silex SDE800 Nassstation ist eine robuste und zuverlässige produktionsfertige Maschine, die auf die Bedürfnisse der Hersteller und Forscher von Medizinprodukten auf dem Gebiet der Dünnschichtabscheidung zugeschnitten ist. Mit einer modularen Plattform, die integrierte Prozesskammern umfasst, umfassen seine Hauptmerkmale hochpräzise Kontrolle über Temperatur, Druck, Geschwindigkeit und Ätzen und Kompatibilität mit Standard-Wafergrößen wie 8 „und 10“. Die SDE800 Nassstation verfügt zudem über fortschrittliche Sicherheits- und Überwachungstechnologien mit über 150 individuellen Prozessparametern, um einen zuverlässigen und wiederholbaren Betrieb zu gewährleisten. Die SDE800 Nassstation wurde entwickelt, um den Anforderungen der Hersteller von Medizinprodukten gerecht zu werden, die mit empfindlichen Substraten und Materialien für eine Vielzahl von Verfahren arbeiten. Dazu gehören Anwendungen für Ätz-, Dünnschicht- und Verkapselungsverfahren sowie Vakuum-, atmosphärische und korrosive Gasverarbeitungsbedürfnisse. Die SDE800 Nassstation unterstützt neben der Tieftemperaturverarbeitung auch eine Vielzahl fortschrittlicher Prozesse wie Plasma, Plasma-Ionen-Implantation, Sputtern und Ionenstrahlabscheidung. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer Reihe von automatisierten Steuerungssystemen mit einer benutzerfreundlichen, grafischen Oberfläche ausgestattet. Die SDE800 Nassstation besteht aus einem Basismodell mit einer Reihe von Modulen, um den Anforderungen jeder einzelnen Forschung oder Industrie Anwendung gerecht zu werden. In der Mitte der Maschine befindet sich die universelle Prozesskammer, eine Kugelkammer, die Temperaturen bis zu 55 ° C und Drücke bis zu 10-7 Torr mit der Möglichkeit erreichen kann, auf eine Substratgröße von 8 „oder 10“ Durchmesser umzurüsten. Jede Kammer verfügt außerdem über integrierte Temperatur- und Druckmessgeräte und ein integriertes Vakuumniveaumesssystem mit automatisierten Druckprofilen. Darüber hinaus unterstützen die Kammern eine Reihe von Prozessgasen wie Wasserstoff und Argon mit Optionen für Gasgemische bei Bedarf. Um einen zuverlässigen und wiederholbaren Betrieb zu gewährleisten, verfügt die SDE800 Nassstation über ein ausgeklügeltes Sicherheits- und Überwachungssystem mit über 150 Prozessparametern. Dazu gehören elektronische Fehlererkennungssysteme und Notabschaltsysteme bei prozesskritischen Bedingungen. Die Maschine umfasst auch eine integrierte Steuerung mit einer grafischen Benutzeroberfläche zur komfortablen Überwachung und Kalibrierung. Abschließend ist Silex SDE800 Nassstation eine fortschrittliche Maschine, die auf die Bedürfnisse von Herstellern und Forschern von Medizinprodukten für Dünnschichtabscheidungsprozesse zugeschnitten ist. Mit ihrem modularen Aufbau, hochpräzisen Steuerungsfunktionen und ausgeklügelten Sicherheitssystemen ist die SDE800 Nassstation die ideale Lösung für eine Vielzahl empfindlicher Substrat- und Materialbedürfnisse.
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