Gebraucht STEAG / MATTSON / AST AWP #9091165 zu verkaufen

AST (SMAST) Automated Wet Process (STEAG/MATTSON/AST AWP) Station ist eine fortschrittliche, hochleistungsfähige Nassverarbeitungsstation für den automatisierten Betrieb in Halbleiterverpackungs- und Wafer-Montageprozessen. Die SMAST AST AWP Station ist eine komplette, modulare Nassverarbeitungsplattform, die entwickelt wurde, um menschliche Eingriffe zu reduzieren und gleichzeitig durchgehend Prozesszykluszeiten bei optimalen Erträgen zu liefern. Die SMAST STEAG AWP Station umfasst drei Kernfunktionen, die zusammen eine automatisierte Reaktionsumgebung innerhalb der Station bieten: Wafer und Teilehandling, chemische Verarbeitung und Nachbearbeitung. Die chemische Verarbeitungsplattform ist zentral und modular aufgebaut und ermöglicht die Anpassung des Verarbeitungszyklus an die spezifischen Kundenbedürfnisse. Dieses flexible Design eliminiert unnötige Module und reduziert so die Gesamtfläche und die Kosten. Die SMAST AWP Station verfügt zudem über automatisierte Wafer-Handling und automatisierte Speicher- und Abrufsysteme. Das automatisierte Handhabungsgerät verwendet Roboterarme, um Wafer und Teile zwischen verschiedenen Prozessstufen zu transportieren und gleichzeitig eine vollständige physikalische Isolierung von Verunreinigungen zu gewährleisten. Das Lager- und Abrufsystem hält den Wafer- und Teilebestand auf einem optimalen Niveau und ist darauf ausgelegt, die Verarbeitungskammern automatisch mit den notwendigen Chemikalien und Lösungsmitteln zu füllen. Die Station umfasst auch vier Hauptprozessbehälter: einen Spülbehälter, einen Beizbehälter, einen Trocknungsbehälter und einen Dichtungsbehälter. Im Inneren der Behälter wird eine fortschrittliche Mehrdüsenkopfanlage von STEAG Technology eingesetzt, um eine möglichst hohe Gleichmäßigkeit während des gesamten chemischen Prozesses zu gewährleisten. Die Station verfügt über einen integrierten Prozesscontroller, der mit einem Personalcomputer zur vollständigen Prozessanpassung und Rezepturdokumentation verbunden ist. Die SMAST MATTSON AWP Station ermöglicht ein breites Spektrum an Prozesschemie und -fähigkeit sowie zertifizierte und nicht zertifizierte Chemikalien. Die benutzerfreundliche Softwareplattform wurde entwickelt, um den Fortschritt der Prozesse zu überwachen und mögliche chemische oder Temperaturunterschiede zu identifizieren, wodurch Prozesskorrekturen und Verbesserungen in Echtzeit möglich sind. Die SMAST STEAG/MATTSON/AST AWP Station ist mit vier Reinigungssystemen ausgestattet: einer Flüssigkeitsreinigungsmaschine, einem trockenen Stickstoffkaskadenreinigungswerkzeug, einem trockenen Sauerstoffkaskadenreinigungsgut und einem Ultraschallreinigungszyklus. Diese breite Palette von Reinigungslösungen gewährleistet die höchste Basisqualität des Produkts und erfüllt gleichzeitig alle Sicherheits-, Umwelt- und Industriespezifikationen. Schließlich verfügt die SMAST AST AWP Station über fortschrittliche Umweltschutzmaßnahmen wie anspruchsvolle Belüftung, Dunstabzugshauben, Sicherheitstüren mit ESD und automatisierte Isolierung. Diese Sicherheitsvorkehrungen dienen der Maximierung der Betriebseffizienz bei gleichzeitigem Schutz des Personals und der Umgebung, in der die Station genutzt wird.