Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UW-200Z #9278994 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9278994
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Batch wafer processor, 8"
Dry-in / Dry-out
Install type: Thru-the-wall (TTW)
Automated load/Unload
Application: Pre-diffusion clean
Bath:
1: POU (Point of Use, configurable)
2: SC1
3: SD2 (HF / IPA Dry)
Typical process flow: POU (HF )-> QDR -> SC1 -> QDR -> SD2
Includes:
Cabinex CO2 fire suppression system
LUFRAN 130-6HH6 DIW Heater
UPS For computer only (installed on tool)
UPS For full system (stand-alone unit)
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-200Z Wet Station ist eine top-of-the-line nasschemische Verarbeitungsanlage, die für die automatisierte Herstellung von integrierten Schaltungsbauelementen entwickelt wurde. Mit seiner industrietauglichen Konstruktion ist TEL UW200Z für optimale Präzision und gleichbleibende Zuverlässigkeit gebaut. TOKYO ELECTRON UW 200 Z verfügt über zwei Prozessbehälter für eine Material Supply Equipment (MSS) und zwei Standard-Tankgrößen mit einer maximalen Temperatur von bis zu 370 ° C. Beide Prozessbehälter verfügen über automatisierte Prozesssteuerungsfunktionen für automatischen Prozessablauf und Überwachung. Das Kühlsystem der Station besteht aus zwei Kühlplatten, die für zwei unterschiedliche Temperaturanforderungen getrennt gesteuert werden können. Jeder Tank ist mit einem Werkzeugtrichter ausgestattet, der das Einsetzen von Substraten und Reinigungswerkzeugen ermöglicht. Die MSS-Prozessbehälter verwenden eine Reihe von Pumpen und eine Drain & Fill-Einheit, um die Tanks mit DI oder DI & DI-Wasser zu füllen und abzulassen. Beide Behälter verfügen auch über eine Blasenplattenreinigungsmaschine, um Ausgasungen zu ersetzen, Blasen zu minimieren und die Substratreinigung zu verbessern. TOKYO ELECTRON UW200Z bietet eine Vielzahl von Prozessmodulen zur Unterstützung der automatisierten Herstellung von integrierten Schaltungsbauelementen. Diese Module umfassen einen Dickschichtstreifenextruder, einen porösen Laminierungs- und Isolationsextrudor (PI) und eine kochende Inhibitor-Anwendung (BIA). Der Dickschichtstreifenextruder wird verwendet, um Dickschichtwiderstandsstreifen mit gleichmäßiger Dicke und ausgezeichneter Feuchtigkeitstoleranz herzustellen. Der Porous Lamination and Isolation Extrudor (PI) sorgt für eine präzise Positionierung und einen korrekten, konformen Kontakt zum Substrat, der für eine gleichmäßige hohlraumfreie Laminierung und elektrische Isolierung erforderlich ist. Das BIA ist in das PI-Modul integriert und sorgt für eine reibungslose eutektische Bindung. Darüber hinaus umfasst die Station ein Substrattransportwerkzeug zum Transport von Substraten durch die drei Prozesstanks. Darüber hinaus verfügt die Station über ein Smart Substrate Management Asset (SSMS) zur Identifizierung von Substraten und zum optimalen Transport zwischen den drei Prozesstanks. TEL UW 200 Z Wet Station ist eine ideale Wahl für diejenigen, die höchste Präzision und Zuverlässigkeit in der nassen chemischen Verarbeitung suchen. Mit seinem umfassenden Angebot an Modulen und automatisierten Prozessen bietet TEL UW-200Z eine beispiellose Vielseitigkeit und bietet unübertroffene Geschwindigkeit und Genauigkeit für die Herstellung integrierter Schaltungsgeräte.
Es liegen noch keine Bewertungen vor