Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UW-300 #9098651 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON UW-300
ID: 9098651
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Wet bench, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-300 Nassstation ist eine zuverlässige und wirtschaftliche Ausrüstung für die Nassverarbeitung von Halbleitern. TEL UW-300 ist in der Lage, kleine Substrate bis 150 mm Größe auf seinen 150 mm Kassetten präzise und schnell zu verarbeiten. Das System bietet eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit und ergibt sich durch eine Kombination aus hohem Durchsatz, genauer Temperatur- und Bewegungssteuerung sowie optimierten Funktionen für die Verwaltung kleiner Substrate. TOKYO ELECTRON UW-300 verfügt über eine große Kammerkapazität mit einer hocheffizienten Recyclingeinheit für den chemischen Einsatz. Dies ist besonders nützlich für nasse Prozesse, die extreme Temperaturen oder einzigartige chemische Bäder erfordern. Mit einer modularen Architektur kann die Maschine auf eine Vielzahl von Nassprozessen wie Präzisionsätzen, Nassreinigung, chemische Abscheidung und Galvanisieren zugeschnitten werden. Das Werkzeug integriert eine Kassetten-Handhabungseinheit, um das Be- und Entladen von Kassetten zu automatisieren. Diese Fähigkeit hilft, den gesamten Prozess zu rationalisieren, Verunreinigungen zu reduzieren und den Ertrag zu verbessern. Darüber hinaus ermöglicht eine zentrale Steuerung der Flüssigkeit eine präzise Temperatur- und Durchflussregelung. Dies ist entscheidend für die Erzielung einer stabilen Prozessleistung. UW-300 ist in der Lage, die Prozesssteuerung genau zu steuern. Es bietet eine präzise Temperaturregelung mit Widerstandsheizelementen und einem Far Infrared (Femto-IR) Temperatursensor. Es enthält auch eine präzise Gasquelle-deionisierte (SDI) Steuerung Modell zur Verwaltung präziser Gasströmung. Darüber hinaus bietet das Gerät eine präzise Zeitsteuerung sowie eine präzise Bewegungssteuerung zur präzisen Abgabe von Inhaltsstoffen. TEL/TOKYO ELECTRON UW-300 verfügt über ein einzigartiges automatisiertes Monitorsystem zur Messung von Kammereinstellungen, Umgebungs- und Substrattemperatur sowie Zeitstempelinformationen zur Herstellung von Prozessprotokollen und Rezepten, die für die Überprüfung, Prüfung und Prozessoptimierung leicht verfügbar sind. Das Gerät enthält auch eine integrierte Datenerfassungsmaschine zum Sammeln von Betriebsparametern während der Verarbeitung, um die Prozesssteuerung zu verbessern und die Fehlerbehebungszeit zu reduzieren. Dieses Tool hilft, Erträge und Produktivität zu maximieren. Insgesamt bietet TEL UW-300 Nassstation eine konsistente, wiederholbare Nassverarbeitung für kleine Substrate bis 150 mm Größe. Der hohe Durchsatz, die präzise Temperatur- und Bewegungssteuerung sowie hervorragende Eigenschaften für die Verwaltung kleiner Substrate führen zu zuverlässigen Ausbeuten und optimiertem Prozessdurchsatz. TOKYO ELECTRON UW-300 ist ein zuverlässiger und wirtschaftlicher Vermögenswert zur Optimierung der Nassverarbeitung.
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