Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #293821721 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z ist eine vollautomatische Nassbankstation für die Waferbearbeitung. Es ist eine hohe Präzision, hohe Produktivität und vollautomatische Nassätzlösungsstation mit einem hohen Wirkungsgrad. Es ist in der Lage, Wafer bis 300 mm Durchmesser mit unschlagbarer Geschwindigkeit und Genauigkeit zu verarbeiten. Diese Nassstation dient zum Ätzen verschiedener Materialien wie Silizium, Galliumarsenid, Siliziumgermanium, Aluminiumnitrid und Saphir. TEL UW300Z verfügt über einen modularen Aufbau, der das Be-/Entladen, Lagern und Übertragen von Wafern ohne menschliches Eingreifen ermöglicht und mögliche Kontaminationen oder Beschädigungen minimiert. Zudem bietet es eine offene Architektur, die die Integration in bestehende Produktionssysteme sparsam erleichtert. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um Wafer vor der Verarbeitung zu speichern, so dass mehr Durchsatz und Automatisierung. Das intuitive Bedienfeld bietet Betriebsinformationen, ein Selbstdiagnosesystem und Echtzeit-Prozessüberwachungsfunktionen. Darüber hinaus ist das Gerät mit Schutzschilden ausgestattet, um Kontaminationen oder Beschädigungen zu verhindern, Filtersysteme für die Partikel- und Chemikalienbegrenzung und eine Vielzahl von Sicherheitsverriegelungen, um die Integrität der Maschine und Wafer zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON UW 300Z bietet auch hohe Präzision, verbesserte Produktivität, verbesserte Integration und Flexibilität. Es ist so konzipiert, dass es mit einer Vielzahl von TEL-Ätzplänen und anderen kommerziellen Rezepten kompatibel ist. Es verfügt über Software-Module für offene Architektur und einen Echtzeit-Prozessmonitor, mit dem Benutzer ihre eigenen Prozesse einfach an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Die Station ist auch mit Präzisionstemperatur und Zeitsteuerung, hochpräziser Waferausrichtung und einer eingebauten Lichtquelle für Wafer-Prüfwerkzeug ausgestattet. Darüber hinaus können TEL/TOKYO ELECTRON UW300Z mehrere Prozesskonfigurationen unterstützen, vom physikalischen/chemischen Naßätzen über das Plattieren bis hin zum Formen. Insgesamt bietet TOKYO ELECTRON UW 300 Z unübertroffene Präzision und Produktivität. Es eignet sich gut für Waferbearbeitungsanforderungen in der kleinen bis mittleren Halbleiterproduktion, die eine verbesserte Produktivität, Flexibilität und Präzision erfordern. Die Anlage ist auch in der Lage, qualitativ hochwertiges Ätzen mit einem hohen Integrationsniveau zu bieten, gepaart mit Sicherheitsmaßnahmen nach Branchenstandard.