Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9392079 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z ist eine All-in-One-Nassstation für Halbleiterherstellungsprozesse. Diese multifunktionale Station umfasst einen Hochdrucksprüher, ein Nassverarbeitungsbad, einen Flüssigkeitsabfallbehälter, einen Transferroboter, einen Dampftrockner und eine UV-Härtungslampe. Der Hochdrucksprüher ist entscheidend für das Waschen und Reinigen von Wafern und anderen Komponenten vor Prozess- und Fertigungsvorgängen. Diese Nassstation verfügt über einen Hochdruckbereich von 70 bis 85 bar mit 0,8 mm Düsendurchmesser und eignet sich somit ideal für die präzise Reinigung empfindlicher Bauteile ohne Beschädigungsgefahr. Es enthält auch eine starke, aber schonende Sprays, so dass ein effizientes Waschen mit minimalem Spritzen oder Overspray. Das Nassverarbeitungsbad ist für verschiedene Prozesse wie Ätzen, Reinigen, Galvanisieren und Skalenbearbeitung ausgelegt. Dieses vielseitige Bad bietet Anwendern ein breites Spektrum an Temperaturen von 0 bis 120 Grad Celsius. Es umfasst auch Rührwerke, um eine homogene Materialverteilung während der Prozessschritte zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt dieses Bad über eine optionale Ablauffunktion, die ein schnelles und effizientes Ablassen des Bades beim Reinigen ermöglicht. Der Transferroboter ist für einen effektiven und effizienten Materialtransport mit einem automatischen geführten Fahrzeug (AGV) -basierten System und benutzerprogrammierbaren Einstellungen konzipiert. Der Roboter bietet Bedienern eine Vielzahl von Betriebsoptionen, wie Startpunkteinstellungen, Speicher-Multi-Path-Operationen sowie Positions- und Datenwiederherstellung. Darüber hinaus verfügt dieser Roboter über eine Befehlsvalidierungseinheit, die alle Befehle überprüft und unbeabsichtigte Prozesse verhindert. Der Dampftrockner, ein weiterer Bestandteil der Station, erleichtert die vollständige Trocknung von Proben mit einer umfangreichen Vortrocknungszeit von bis zu acht Minuten. Dieser Trockner verfügt über eine effektive indirekte Trommeltrocknungsmaschine, die Anwendern einen effizienten und konsistenten Trocknungsprozess bietet. Die optionale UV-Härtungslampe ist ebenfalls in der Station enthalten, um Benutzern hitzebeständige Oberflächen zu bieten und die gesamte Prozesszeit zu verkürzen. Abschließend ist TEL UW300Z eine vielseitige Nassstation, die für den Halbleiterherstellungsprozess ausgelegt ist. Diese Station umfasst verschiedene Komponenten, wie einen Hochdrucksprüher, ein Nassverarbeitungsbad, einen Transferroboter, einen Dampftrockner und eine UV-Härtungslampe, so dass Benutzer alle Prozesse abschließen können, ohne zusätzliche, separate Geräte benötigen. Der effiziente und vollständige Trocknungsprozess macht diese Nassstation ideal für Halbleiterherstellungsanwendungen.