Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9223611 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000 ist eine Nassstation, die speziell für Batch- und Single-Wafer-Verarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Diese Ausrüstung ist speziell für die Verarbeitung von Nasschemie wie Ätzen, dünnere Abscheidung, Lösungsmittelreinigung, chemisch-mechanisches Polieren (CMP) und nasschemische Behandlung konzipiert. TEL UW-8000 ist ein flexibles System, das sowohl Einzelwafer als auch Batch-Verarbeitung von bis zu 200 Wafern verarbeiten kann. Es ist mit zwei Prozessmodulen ausgestattet, die jeweils aus vier einzelnen Prozesszellen bestehen, die alle isoliert sind. Als solches ist diese Einheit in der Lage, sowohl die Einzelwafer- als auch die Chargenverarbeitung zu handhaben, ohne zusätzliches Zubehör zu benötigen. Die Prozesszellen verfügen über offene Schiebetore, um einen einfachen Zugriff und das Be- und Entladen der einzelnen Wafer zu ermöglichen. Die Einstellung und Steuerung der Prozessrezepte kann einfach über das einfach zu bedienende Touchscreen-Display erfolgen. Es kommt auch mit einem intuitiven Rezept-Editor/Management-Maschine, um sicherzustellen, dass alle Parameter richtig eingestellt und aufgezeichnet werden. Das integrierte Alarm-Management-Tool trägt dazu bei, dass die Wafer-Qualität erhalten bleibt, indem es die Umgebung während des Betriebs mit der erforderlichen Bedienerfreundlichkeit umgibt. Die Konstruktion der Kammer sorgt auch für einen einheitlichen Waferprozess jedes Mal, bei überlegener Temperatur und Feuchtigkeitsregelung. Die Kammer ist mit einer mehrzonigen Abgasanlage ausgestattet, um die Temperatur und Feuchtigkeit der Kammer zu steuern. Es verfügt auch über eine konforme Fließtechnologie, die einen präzisen Fluss bei gleichmäßiger Umgebung ermöglicht. Um die Gleichmäßigkeit zu erhalten, verfügt das Modell TOKYO ELECTRON UW 8000 auch über einen In-situ-Kontaminationsmonitor, der die Menge der Partikelverunreinigung in der Luft in Echtzeit misst. TEL UW 8000 ist ein einzigartiges, sorgfältig konzipiertes System, das jedes Mal gleichbleibend hochwertige Ergebnisse liefert. Mit seinen mehreren Prozesszellen, einfache Automatisierungseinheit und Alarmmanagement-Maschine; Dieses Tool ermöglicht eine genaue und wiederholbare Verarbeitung der Nasschemie in jeder Umgebung.