Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9292570 zu verkaufen
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ID: 9292570
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Wet station, 8"
Process: Post cleaner
Chemical supply unit
UPS
Exhaust blower unit
Hot DIW unit
Organic scrubber
Acid / Alkali scrubber
IPA Recycle unit
AC Power box
Position / Name / Material / Temperature control / Measuring / Pump / Filter / Chemical supply / Drain exhaust
POS11 / UL / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural
POS10 / ID / Quartz / SS HEAT / - / Dip / - / - / Organic
POS09 / FR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS08 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2" / - / - / - / Natural
POS07 / HPM / Quartz / CS heat / 3 / Circulation / Filtering / CCSS / Acid
POS06 / OF / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS05 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2 / - / - / - / Natural
POS04 / APM / Quartz / CS heat / 1 / Circulation / Filtering / CCSS / Alkali
POS03 / QDR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS02 / CHCL / PVC / - / - / - / - / - / Natural
POS01 / LD / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural
Measuring instrument: KURABO Resistivity meter / Temperature controller / APM Concentration meter
Controller: TEL / TOKYO ELECTRONICS Board
FF-20HT Pump
MILLIPORE TAAD011G19E5H23D Filter
THE-63Q CS Heat
Fire extinguisher: Cabinex-EN
Signal tower: 4 Color (GYWR)
PATLITE LED Type
Missing parts:
IPA Vapor dryer Quartz bath
(2) Robot chucks
HPM Plate
APM Plate
Sonic generator
Power supply:
200 V, 150 A, 3 Phase
100 V, 60 A, Single phase
100 V, 5 A, Single phase
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000 ist eine vielseitige, intuitive Nassstation, ideal für eine Vielzahl von Nanofabrikationsverfahren. Es ist ein computergesteuertes ultra-hochauflösendes Lithographie-Tool zur Erstellung fortschrittlicher nanoskaliger Funktionen, die von 500 nm bis 200 nm messen. Dieses Präzisionswerkzeug verwendet einen intensiven Lichtstrahl, um ein komplexes Muster auf einem sehr kleinen Wafer oder Substrat zu „ätzen“, wodurch mikroelektronische Produkte mit erstaunlicher Genauigkeit erstellt werden. TEL UW-8000 ist mit einer einstellbaren, hochpräzisen Substratstufe ausgestattet, die sich in der X-, Y- und Z-Achse bewegen kann, mit einem Schrittmotor, der jede Achse mit einer Auflösung von 2 Mikrometern bereitstellt. Der eingebaute Beleuchter kann verschiedene Lichtquellen aufnehmen und angepasst werden, um Strahlen mit Wellenlängen zwischen 400 und 800 nm zu erzeugen. Neben dem Eintauchen des Wafers in ein Resistmaterial kann TOKYO ELECTRON UW 8000 auch zum Ätzen oder Verdampfen von Materialien sowie sauberen/polierenden Substraten verwendet werden. Der Wafer wird mechanisch unterstützt, um Vibrationen zu minimieren, und die Station ist voll automatisiert, so dass er eine Reihe von Prozessen auch bei unbeaufsichtigter Durchführung. Es ist mit einer kompakten Stellfläche für eine einfache Integration in eine Labor- oder Reinraumumgebung und einer kleinen, leichten Einheit für maximale Anwendungsflexibilität konzipiert. Die intuitive Benutzeroberfläche von TOKYO ELECTRON UW-8000 ist für eine einfache Bedienung ausgelegt; die grafische Benutzeroberfläche führt den Benutzer durch jeden Schritt des Prozesses. Auf diese Weise können Benutzer ihre eigenen Rezepte formulieren und komplexere Ätzmuster einrichten. Die Station verfügt außerdem über zwei Feuchtigkeitsmanagementsysteme zur Überwachung und Regelung der relativen Luftfeuchtigkeit, die sicherstellen, dass die Wafer trocken und kontaminationsfrei bleiben. Schließlich ist UW 8000 ein äußerst zuverlässiges Werkzeug zu einem erschwinglichen Preis erhältlich, ideal für diejenigen, die anspruchsvolle nanoskalige Produkte auf moderne, kostengünstige Weise herstellen möchten. Mit seiner Fähigkeit, die Erträge über eine Vielzahl von Prozessen zu steigern, ist UW-8000 eine wertvolle Investition für jedes Nanoproduktionslabor.
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