Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9292570 zu verkaufen

ID: 9292570
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Wet station, 8" Process: Post cleaner Chemical supply unit UPS Exhaust blower unit Hot DIW unit Organic scrubber Acid / Alkali scrubber IPA Recycle unit AC Power box Position / Name / Material / Temperature control / Measuring / Pump / Filter / Chemical supply / Drain exhaust POS11 / UL / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural POS10 / ID / Quartz / SS HEAT / - / Dip / - / - / Organic POS09 / FR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural POS08 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2" / - / - / - / Natural POS07 / HPM / Quartz / CS heat / 3 / Circulation / Filtering / CCSS / Acid POS06 / OF / Quartz / - / - / - / - / - / Natural POS05 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2 / - / - / - / Natural POS04 / APM / Quartz / CS heat / 1 / Circulation / Filtering / CCSS / Alkali POS03 / QDR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural POS02 / CHCL / PVC / - / - / - / - / - / Natural POS01 / LD / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural Measuring instrument: KURABO Resistivity meter / Temperature controller / APM Concentration meter Controller: TEL / TOKYO ELECTRONICS Board FF-20HT Pump MILLIPORE TAAD011G19E5H23D Filter THE-63Q CS Heat Fire extinguisher: Cabinex-EN Signal tower: 4 Color (GYWR) PATLITE LED Type Missing parts: IPA Vapor dryer Quartz bath (2) Robot chucks HPM Plate APM Plate Sonic generator Power supply: 200 V, 150 A, 3 Phase 100 V, 60 A, Single phase 100 V, 5 A, Single phase 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000 ist eine vielseitige, intuitive Nassstation, ideal für eine Vielzahl von Nanofabrikationsverfahren. Es ist ein computergesteuertes ultra-hochauflösendes Lithographie-Tool zur Erstellung fortschrittlicher nanoskaliger Funktionen, die von 500 nm bis 200 nm messen. Dieses Präzisionswerkzeug verwendet einen intensiven Lichtstrahl, um ein komplexes Muster auf einem sehr kleinen Wafer oder Substrat zu „ätzen“, wodurch mikroelektronische Produkte mit erstaunlicher Genauigkeit erstellt werden. TEL UW-8000 ist mit einer einstellbaren, hochpräzisen Substratstufe ausgestattet, die sich in der X-, Y- und Z-Achse bewegen kann, mit einem Schrittmotor, der jede Achse mit einer Auflösung von 2 Mikrometern bereitstellt. Der eingebaute Beleuchter kann verschiedene Lichtquellen aufnehmen und angepasst werden, um Strahlen mit Wellenlängen zwischen 400 und 800 nm zu erzeugen. Neben dem Eintauchen des Wafers in ein Resistmaterial kann TOKYO ELECTRON UW 8000 auch zum Ätzen oder Verdampfen von Materialien sowie sauberen/polierenden Substraten verwendet werden. Der Wafer wird mechanisch unterstützt, um Vibrationen zu minimieren, und die Station ist voll automatisiert, so dass er eine Reihe von Prozessen auch bei unbeaufsichtigter Durchführung. Es ist mit einer kompakten Stellfläche für eine einfache Integration in eine Labor- oder Reinraumumgebung und einer kleinen, leichten Einheit für maximale Anwendungsflexibilität konzipiert. Die intuitive Benutzeroberfläche von TOKYO ELECTRON UW-8000 ist für eine einfache Bedienung ausgelegt; die grafische Benutzeroberfläche führt den Benutzer durch jeden Schritt des Prozesses. Auf diese Weise können Benutzer ihre eigenen Rezepte formulieren und komplexere Ätzmuster einrichten. Die Station verfügt außerdem über zwei Feuchtigkeitsmanagementsysteme zur Überwachung und Regelung der relativen Luftfeuchtigkeit, die sicherstellen, dass die Wafer trocken und kontaminationsfrei bleiben. Schließlich ist UW 8000 ein äußerst zuverlässiges Werkzeug zu einem erschwinglichen Preis erhältlich, ideal für diejenigen, die anspruchsvolle nanoskalige Produkte auf moderne, kostengünstige Weise herstellen möchten. Mit seiner Fähigkeit, die Erträge über eine Vielzahl von Prozessen zu steigern, ist UW-8000 eine wertvolle Investition für jedes Nanoproduktionslabor.
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