Gebraucht WAFER PROCESS SYSTEMS / WPS SLFFH-600-P #9003748 zu verkaufen
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ID: 9003748
Wet Station
HBT Acid/Corrosive/Etch chemical
60HZ 208V
3 Phase 45 amps
5 Wires
Electrical Diagram # 0154356
Station # 2 HBT PNL 2M/32 34 36
All Controls are made by Wafer Process Systems
1) Switch Panel: WP5 Model 200 ASP Auxiliary
2) EPO: Model 100 Emergency Power off Panel
3) Process Timer: Model 1000T
4) Cycles: Model 20000 QDL Quick Dump Logic
Station # 2 HBT Sink D546
All Controls are made by Wafer Process Systems
1) Resistivity Monitor: Model 900RM
2) Temperature/Time Controller: Model 3000 TTC
3) Process Timer: Model 1000T
4) Cycles: Model 20000 QDL Quick Dump Logic
5) Local Exhaust Ventilation: 1027
Hercules Foot Switch: CAT # 531-SWN Nema Type 2, 4 & 13
Extra parts included.
WAFER PROCESS SYSTEMS/WPS SLFFH-600-P Wet Station ist eine automatisierte und voll integrierte Ausrüstung für die Verarbeitung kleiner/großer flacher Wafer in verschiedenen Produktionsumgebungen. Es verfügt über eine Reihe von rotierenden Schalen, die als Förderer fungieren und eine präzise und reproduzierbare Be- und Entladung von Produkten ermöglichen, und zwei symmetrisch positionierte Heizmodule, die für gleichmäßige Temperaturen sorgen. Dieses System ist für eine Vielzahl von Prozessen und Materialien konzipiert, einschließlich mehrerer chemischer Prozesse, Ausdünnen, Ätzen und Reinigen, und es kann mit optionalen Beschichtungs-, Laser-Scribing- und Robotiksystemen ausgestattet werden. WPS- SLFFH-600-P können Wafer bis zu einer maximalen Größe von 600 mm im Durchmesser und bis zu 20 mm dick aufnehmen, und das Gerät kann bis zu sechs Wafer gleichzeitig mit einem Durchsatz von bis zu 500 Wafern pro Stunde verarbeiten. Die Wafer werden auf die rotierenden Trays geladen und es können bis zu 6 verschiedene Prozesse drehbar auf die Wafer aufgebracht werden. Alle Prozesse werden von der dedizierten Steuerung der Maschine verwaltet und ermöglichen eine präzise und konsistente Kontrolle des gesamten Produktionsprozesses. WAFER PROCESS SYSTEMS SLFFH-600-P verfügt über einen leistungsstarken Schrittmotor zur präzisen Drehzahlregelung, und sein fortschrittliches Doppelpumpenwerkzeug ist in der Lage, die Geschwindigkeit und den Fluss von Lösungen zu steuern. Diese Nassstation bietet zudem einen kontinuierlichen Prozessmodus, der eine Verarbeitung von bis zu 1.800 Wafern mit einer Ladegeschwindigkeit von bis zu 10 Wafern pro Minute ermöglicht. Die Anlage ist auch mit einem Partikelsammel- und Recyclingmodell konzipiert, das einen sauberen und umweltfreundlichen Betrieb ermöglicht. SLFFH-600-P ist dank der verstärkten Struktur und der fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale sehr zuverlässig und robust. Die Ausrüstung wurde umfangreichen Sicherheitstests unterzogen, um die Sicherheit des Personals zu gewährleisten, und verfügt über Alarme und Nothaltestellen. Darüber hinaus ist das System vor Stößen und Vibrationen geschützt, und seine Temperaturmanagementeinheit sorgt für optimale Arbeitsbedingungen. WAFER PROCESS SYSTEMS/WPS SLFFH-600-P ist eine zuverlässige und effiziente Nassstation, ideal für die Verarbeitung von dünnen/großen Flachwafern für eine Vielzahl von Branchen.
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