Gebraucht CAMECA TXRF 8300 #9224127 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9224127
Weinlese: 2007
System
Specimen chamber and wafer handling:
Mini environment, class 1
Automatic centering and flat / Notch identification
Automatic thickness variation compensation
Automatic angle adjustment
Independent from wafer bow or wedge
Polar orientation independent of analyzed area
X, Y, Z, Θ, Φ Wafer stage
No vacuum chamber
Organic chuck material
Vacuum chucking during wafer displacement
X-Ray system with:
Motorized curved double multi layer monochromator
Measurement of elemental impurities on Si-wafers
Simultaneous measurement of >60 elements between Al and U
Detection limits: < 5 x 109 atoms / cm² (e.g. for Ni)
Angle adjustment of wafers to optimize signal / Background ratio
Medium frequency x-ray generator, max. 3.5 kW
High power fine-focus tubes
System prepared for W and Mo tubes
Sealed anode system
Lifetime: 2,000 Hours
SiLi Detector:
With crystal: 80 mm²
Effective sampling area: 70 mm²
Energy resolution better: 150 eV
Selectable time constants for variable resolution
Digital detector electronics
Digital pulse processing
4096 Channels ADC for spectrum analysis
Pile-up rejector
Escape peak subtraction
Standard calibration wafer
Standard droplet
Ni: 1ng
Computer control system:
PC With 256 MB RAM
FDD: 1.4 MB
CD Burner
HDD: 100 GB
TFT Monitor, 17”
16 MB Monitor adapter with hardware acceleration
Ethernet card: 10 / 100 MB
Operating system: Windows NT
Color ink printer
Graphical User Interface (GUI)
Easy set-up of measurement sequences
Break function for introduction of emergency measurements
Automatic optimization of filter setup
Individual selection of analyzing parameters
Automatic search routine for VPD droplets
E-Diagnostics and remote servicing
Fab automation
GEM SECS
Modem included
Cassette stations:
(2) Cassette stations, 6"-12"
Front and side port
Mix and match operation
Different wafer sizes in an automatic run
Clean room compatible cassette operation
X-Ray tubes:
W-Tube: 3000 W
Excitation energy: Wlb: 9.67 keV / Wla: 8.40 keV
Typically used for elements between Al - Zn and Nb - Ta
Chiller: Separate water / Air or water / Water chiller
Detector:
Model no: 7163
Resolution: 150
Detector HV bias: -500 V
Cryostat:
Capacity: 7.5 Liters
Consumption rate: <1 Liter / day
Pre-amplifier:
Type: OXFORD
Sensitivity gain: 1.6 mV / keV
FET Configuration:
Substrate voltage: -16.9 V
Heater voltage: 4.5 V
Spare parts included:
PLANAR / Multi layer block standard
Translink PCI card
Limit switch for DMT 100/65
Digital vacuum switch / Sensor
OXFORD / ISIS 300 DXP 50 Detector
Digimic for assembly 5001 u 5002.00.00 hub: 10 mm
M-521.2S Linear
Turntable DMT 100 mit motor PK244-02B
MY-COM / C30/200 Precision switches
DETECTOR ELECTRONIC / 5885/7163 Without translink card
OMRON / Micro switch DSF
OMRON / MY-COM Switch
Wafer dish / Mess chuck
2007 vintage.
CAMECA TXRF 8300 ist eine Röntgenfluoreszenzausrüstung (XRF), die perfekt zur Charakterisierung von Spurenelementen geeignet ist. Die Röntgenfluoreszenzspektrometrie verwendet einen Röntgenstrahl, um die Zielprobe zu einer Emission charakteristischer Röntgenstrahlen anzuregen, die dann gemessen werden, um die Elementzusammensetzung der Probe zu bestimmen. Diese Technik ist ideal in vielen Situationen, in denen eine zerstörungsfreie und elementarspezifische Analyse erforderlich ist. TXRF 8300 kombiniert Röntgenfluoreszenzspektrometrie mit fortschrittlichen Probenvorbereitungsfunktionen, so dass Forscher und Techniker ihre spezifischen elementaren Messanforderungen erfüllen können. Das System enthält einen optimierten Hochleistungs-Röntgengenerator mit integrierten Probenvorbereitungsfunktionen, wobei letzterer der Schlüssel zur Erzielung überlegener analytischer Leistung ist. Die kombinierte Einheit bietet eine beispiellose Präzision und Genauigkeit für elementare Konzentrationen von ppm bis zu hohen Prozentsätzen. Das Probenvorbereitungszubehör, wie das Difficult Material Sample Kit (DMSK), ermöglicht es, anspruchsvolle Probenmatrix zu analysieren und die Anforderung einer langwierigen Probenvorsortierung zu beseitigen. Das dedizierte Softwarepaket xSort beinhaltet die notwendigen Funktionen, um die XRF-Experimente zu organisieren und zu optimieren. Die xSort-Software hilft dabei, den Datenerfassungsprozess zu optimieren, optimale Messparameter automatisch auszuwählen und dann die Messeinstellungen als zukünftige Referenz zu speichern. Zu den vielen Merkmalen von CAMECA TXRF 8300 gehört seine Fähigkeit, für viele Elemente in einer einzigen Messung zu charakterisieren. Dies ist durch die sehr geringe Balkengröße möglich, die das Instrument bietet. Der kleinste von der Maschine erhältliche Strahldurchmesser beträgt 120 μ m, was sich gut für detaillierte Oberflächenanalysen eignet. Schließlich ist das vorkonfigurierte Servicemenü von Messparametern so konzipiert, dass Wissenschaftler und Techniker eine Vielzahl von Probentypen mit höchster Genauigkeit und Effizienz analysieren können. TXRF 8300 nutzt automatisierte Ausrichtungstechniken und intelligente Software, um die Probe ohne manuellen Eingriff präzise auf der Bühne zu positionieren. Zusammenfassend ist CAMECA TXRF 8300 das perfekte Werkzeug für die Charakterisierung von Spurenelementen und die Röntgenfluoreszenzspektrometrie aufgrund seiner Fähigkeit, unübertroffene Präzision und Genauigkeit zu liefern. Mit integrierten Probenvorbereitungsfunktionen, geringer Röntgenstrahlgröße und automatisierten Ausrichtungs- und Softwarefunktionen ist das Asset ein großartiges Werkzeug für Wissenschaftler und Techniker gleichermaßen.
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