Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190768 zu verkaufen

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ID: 190768
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Diffusion furnace, 8" Specifications: - AP-FTP oxidation current configuration (Tunnel Ox) - “Thin” oxide - Atmospheric torch - 50 production wafers load size - Boat rotation - H2 detection and digital gas monitor - 72.4 KVA transformers Gas System - House N2 2x - UHP N2 (cylinder) 1x - Argon - O2 - H2 - HCl General - Wafer type: Notch type - Signal tower: 3 color (RYG) - I/O Type - AGV compatibility: none - Rapid cooling unit: use - Load lock system: None - Production wafer qty: max 150 wafer/batch Controller and Software - HD version: WAVES V2.48 R007[S801FE-0005] - Release date: 2006/6/27 - HDD Capacity: 4.3 GB Power - Heater: 50/60Hz, 480V, 3Ph - Controller: 50/60Hz, 208V, 1Ph - Pump: none Controllers - Main system controller: WAVES, with back remote - Temperature controller: Model-560 - Pressure controller: Model-none - Mecha controller: T-BAWL - Burn controller: HEC Pyro controller - MFC controller: Model-none MFC1 Tylan Ar 30SLM MFC2 Tylan O2 10SLM MFC3 Tylan O2 30SLM MFC4 Tylan O2 10SLM MFC5 Tylan O2 3SLM MFC6 Tylan H2 10SLM MFC7 Tylan H2 3SLM MFC8 Tylan HCl 3SLM MFC9 Tylan N2 30SLM 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen, der eine verbesserte Kontrolle und Präzision bei Hochtemperaturprozessen ermöglicht. Es verfügt über ein hochgradig langlebiges Design und Konstruktion, mit einer fortschrittlichen Stromversorgung und Controller, so dass die genauen Ergebnisse mit mehreren Substratgrößen und Formen. TEL ALPHA-8S bietet eine überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und eignet sich somit ideal für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen, wie der Oxidabscheidung, oder für Geräteprototyping, einschließlich MEMS/NEMS. Das Hauptmerkmal von TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ist seine Dual Hot Zone Ausrüstung, die zwei Heizelemente bietet, die unabhängig voneinander für maximale Leistung und Temperaturgleichmäßigkeit einstellbar sind. Die Temperatur jeder Heizzone kann präzise gesteuert und überwacht werden, was präzise und wiederholbare Prozessergebnisse ermöglicht. Die heiße Zone ist in einer inerten Atmosphäre eingeschlossen, wodurch eine stabile thermische Umgebung innerhalb der Ofenkammer geschaffen wird, die Verunreinigungen und Oxidationen verhindert. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S verfügt über eine programmierbare End-of-Run-Abschaltung, die sicherstellt, dass das System den Prozess stoppt, wenn das gewünschte Ergebnis erzielt wird. Es verfügt auch über eine fortschrittliche pneumatische Handhabungseinheit, die die Substrate während der Verarbeitung sicher hält und einen schnellen und zuverlässigen Betrieb ermöglicht. Der Deckel des Ofens kann für einen einfachen Zugang zu den Substraten entfernt werden und verfügt über Sicherheitskantenschutz, um versehentlichen Kontakt mit heißen Oberflächen zu vermeiden. ALPHA-8 S ist auch mit einer leistungsstarken Steuerungsmaschine ausgestattet, die eine Einpunktcomputersteuerung über den gesamten Prozess ermöglicht. Mit der integrierten Japan Modular Auto Programming Software können Anwender alle erweiterten Verarbeitungsoptionen und Einstellungen problemlos programmieren. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S umfasst auch eine automatisierte Wafer-Transferstation, die Wafer-Handhabungs- und Abruffunktionen bietet, um den Durchsatz und die Wiederholbarkeit zu verbessern. Es eignet sich sowohl für volle Wafer als auch für kleine Stücke und ermöglicht eine effiziente und zuverlässige Übertragung der Substrate. Darüber hinaus ist ALPHA-8S mit einer breiten Palette an fortschrittlichem Zubehör erhältlich, darunter Gaseinspritzsysteme, Gasköpfe, Pumpsysteme und Prozessmonitore. Dieses Zubehör ermöglicht eine umfassende Prozesssteuerung und bietet eine größere Kontrolle über den Diffusionsprozess. Zusammenfassend ist TEL Alpha 8S ein fortschrittlicher Diffusionsofen, der speziell für eine überlegene Prozesssteuerung und -leistung entwickelt wurde. Es verfügt über eine Vielzahl von Funktionen und Zubehör, um einen effizienten und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten.
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