Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606613 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das von TEL (TOKYO ELECTRON Limited), einem weltweit führenden Unternehmen, das Halbleiterproduktionsanlagen herstellt, entwickelt wurde. Diese Ausrüstung wurde speziell für Vakuumofen-CVD (Chemical Vapour Deposition) -Prozesse entwickelt und bietet eine hohe Produktivität und überlegene Leistung in einem kostengünstigen, kompakten Design. TEL ALPHA 303IK Diffusionsofen ist mit einem 3-Zone Programmable Logic Controller (SPS) zur Steuerung der automatischen Funktionen ausgestattet. Der Ofen hat einen Betriebstemperaturbereich von 800 ° C bis 1400 ° C (1472 ° F bis 2552 ° F), mit einer Substrattemperaturgenauigkeit von ± 2 ° C bei 1100 ° C (2012 ° F) und einer Gleichmäßigkeit von ± 10 ° C innerhalb einer einzigen Zone. Der Diffusionsofen bietet vertikale Suszeptor-Bewegung, großes Arbeitsvolumen und Gleichmäßigkeit, so dass es ideal für große Wafer-Prozesse. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K ist auch mit zusätzlichem Hardware-Zubehör ausgestattet, um seine Funktionalität zu verbessern. Dazu gehören ein abgewinkeltes Suszeptor-Tablett, Durchflussregler, ein Ionenmessgerät, ein Massendurchflussregler, ein Spülsystem und eine unabhängige Kühleinheit. Die abgewinkelte Suszeptorschale sorgt für Prozessgleichmäßigkeit, während die Strömungsregler für einen kontinuierlichen Durchfluss von bis zu vier Gasen sorgen. Das Ionenmessgerät dient zur genauen Messung des Niveaus von Gaspartikeln innerhalb der Ofenkammer. Der Massenstromregler dient zur präzisen Steuerung der Gasströmung und des Drucks, während die Spülmaschine die Sauberkeit der Kammer erhöht. Das unabhängige Kühlwerkzeug hilft, die Heizung zu kühlen und den Prozess zu stoppen, sobald die gewünschte Temperatur erreicht ist. Neben verbesserten Diffusionsfunktionen bietet TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK auch überlegene Sicherheitsmerkmale. Der Ofen ist mit einem verriegelten Deckel, einem Notschalter und einer Inertgasversorgung ausgelegt, die die Sicherheit der Bediener während der Nutzung gewährleistet. ALPHA 303IK Diffusionsofen vereint Komfort, Sicherheit und Präzision in einem kleinen und kostengünstigen Design. Es ist eine ideale Wahl für viele Halbleiteranwendungen, von der Diffusion von Verbindungen für die IC-Herstellung bis zur Abscheidung von Filmen und Polymeren für die Nanotechnologie.