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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
Furnace Process: D-Poly Process pressure: 73 Pa, 133 Pa Process temperature: 510°C, 525°C, 530°C Boa
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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
Furnace, 12" Process: D-Poly Heater type: VMM-56-002 Gas: SiH4, 0.1%PH3/N2, ClF3 FUJIKIN Air valve S
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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
LPCVD Furnace, 12" Process: PIQ (100) Process wafers I/O Port / SMIF: FOUP No load lock 25-Carrier s
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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
Furnace, 12" MTO Heater type: VMM-56-002 Gas: Pure N2, SiH4, N2O 2004 vintage.
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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
Furnace, 12" Gases: SiH4, Si2H6, H2, ClF3, LTO520 (Liquid) 2004 vintage.
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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
Furnace, 12" Process: DCS-HTO Heater type: VOS-56-003 Gas: NH3 / SiH2Cl2 / N2O / SiH4 2005 vintage.
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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
Furnace, 12" Process: DCS-HTO Heater type: VOS-56-003 Gas: NH3 / SiH2Cl2 / N2O / SiH4 2005 vintage.
159
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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
Furnace, 12" Process: SiGe Poly Heater type: VMM-56-002 Gases: SiH4 10%GeH4/H2 1%BCl3/N2 ClF3 200
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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
Furnace, 12" MTO Heater type: VMM-56-002 Gas: SiH4 / N2O 2006 vintage.
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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
Furnace, 12" MTO Heater type: VMM-56-002 Gas: Pure N2, SiH4, N2O 2004 vintage.
139
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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
Furnace, 12" MTO Heater type: VMM-56-002 Gas: Pure N2, SiH4, N2O 2004 vintage.
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TEL / TOKYO ELECTRON
Alpha 303i-K
Vertical LPCVD furnace, 12" Process: TEOS (100) Process wafers I/O Port / SMIF: FOUP No load lock 25
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