Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9411634 zu verkaufen
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ID: 9411634
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Furnace, 12"
Gases: SiH4, Si2H6, H2, ClF3, LTO520 (Liquid)
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen, einschließlich der Verarbeitung von Halbleiterbauelementen und der industriellen Heizung, sowie für Forschung und Entwicklung. TEL ALPHA 303IK ist ein robuster, langlebiger und zuverlässiger Diffusionsofen mit Hochleistungs-Heiz- und Kühlsystemen. Es umfasst eine innovative Glockenaußenstruktur für ein gleichmäßiges thermisches Profil und eine gleichmäßige Verweilzeit und einen optionalen programmierbaren automatischen Hubmechanismus für eine präzise Temperaturregelung. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verfügt über eine präzise Temperaturregelung bis 1100 ° C in Wafern aller Größen mit extrem präziser Temperaturgleichmäßigkeit. Es bietet auch schnelle Kühlung, automatische Deckelpositionsspeicher und erweiterte Sicherheitsfunktionen, um unbeabsichtigte längere Operationen bei erhöhten Temperaturen zu verhindern. Ein optionales „Stacked-Wafer-Kit“ ermöglicht eine gleichmäßige thermische Verarbeitung mehrerer Wafer in einer oder zwei Schichten in einem einzigen Ofenzyklus. Die fortschrittlichen Heiz- und Kühlsysteme von TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK ermöglichen präzise, wiederholbare Temperaturprofile für eine Reihe von industriellen Anforderungen. Die Leistungsaufnahme ist bis zu 10 kW einstellbar und die Leistungsabgabe zum Wafer kann bis zu 2 kW eingestellt werden. ALPHA 303 I K verfügt zudem über ein eingebautes Gasdiffusionssystem für hochpräzise Trockenätz- und/oder Ionenimplantationsprozesse. Die benutzerfreundliche Schnittstelle und leistungsstarke Datenanalysesoftware von TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K vereinfacht die Einrichtung und den Betrieb und bietet gleichzeitig leistungsstarke Funktionen. Die Software ermöglicht es Anwendern, Arbeitsabläufe schnell einzurichten, häufig verwendete Einstellkombinationen zu speichern und nach Standardrezepten zu arbeiten sowie mehrere Öfen gleichzeitig zu betreiben. Die robuste Konstruktion von TEL Alpha 303i-K ermöglicht eine zuverlässige Ausführung im industriellen Umfeld, während seine umfangreichen Sicherheitsmerkmale wie eine hysteresebetätigte Gasabschaltung, ein einstellbarer Hochtemperaturschutz und ein Not-Aus-Knopf einen zuverlässigen Schutz vor unkontrollierter Überhitzung oder Überdruckereignissen bieten. Insgesamt bietet ALPHA 303IK Diffusionsofen eine zuverlässige, präzise thermische Verarbeitung für eine Reihe von industriellen Anwendungen. Seine Innovation Glocke-Art Außenstruktur, überlegene Temperaturregelung, schnelle Kühlung, breite Palette von Sicherheitsfunktionen, fortschrittliche Gasdiffusionssysteme, integrierte benutzerfreundliche Schnittstelle und leistungsstarke Datenanalyse-Software machen es zu einer idealen Wahl für temperaturkritische Prozesse.
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