Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606616 zu verkaufen

ID: 293606616
Weinlese: 2005
LPCVD Furnace 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen, der im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird und einer der fortschrittlichsten und zuverlässigsten auf dem Markt ist. TELEFONALPHA 303IK ist eine niedrige Temperatur, Hochleistungsverbreitungsbrennofen, der maximale Genauigkeit besonders für dünne Filmanwendungen bietet. Dieses Modell bietet bis zu fünf programmierbare Segmente für mehrstufige Diffusionsprozesse und ist in der Lage, reproduzierbare Oxiddicken bei hoher Genauigkeit und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit herzustellen. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K Diffusionsofen verwendet Stickstoffgas zum Spülen und ist mit einer schwimmenden Bootsgeometrie aufgebaut. Die oberen und unteren Boote können unabhängig sein, so dass unterschiedliche Verarbeitungstemperaturen für verschiedene Bereiche. Der Ofen umfasst auch eine ausgeklügelte Steuerkarte mit digitaler Temperaturregelung und Messtechnik zur Überwachung des Prozesses. Eine Reihe von Heizelementen auf der Rückseite, den Seiten und dem Boden des Ofens ermöglichen eine präzise Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit. TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK ist mit mehreren Funktionen entwickelt, um die Sicherheit und Genauigkeit zu verbessern, einschließlich einer exothermen Oxidationskammer, um das Risiko einer Explosion zu minimieren und die Abscheidungsrate der oxidierenden Spezies zu reduzieren. Das Diffusionsbootprofil ist doppelt versiegelt, mit einem Gaskasten zum Schutz vor Kontamination. Das Boot wird auch mit Federfedern oder Keilen unterstützt, um das Boot zu stabilisieren und die thermische Belastung zu verringern. Zusätzlich umfasst der Ofen eine quarzgeschirmte Heizzone, eine keramikgeschirmte Nachwärmezone und eine inerte Pufferzone zur weiteren Verbesserung der Prozessgenauigkeit. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K kommt mit einer kompletten Suite von optionalen Zubehör einschließlich, aber nicht beschränkt auf thermische Oxidation nasse Bänke, ozonfreie Trockenätzsysteme und Metall CVD. Die Hauptmerkmale bieten eine hervorragende Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit, was hohe Produktionserträge ermöglicht. Auch dieser Diffusionsofen bietet einen hohen Durchsatz und ist mit Kammern bis 6,5 „x 5,75“ kompatibel. Alle TEL-Produkte werden mit robusten Qualitätskontrollsystemen gebaut, um zuverlässige Leistung zu gewährleisten. Dazu gehören eine erweiterte Prozesskontrolle und ein engagiertes Kundenservice-Team, das Ihnen kompetente Beratung und Unterstützung bietet. TEL ALPHA 303 I K beinhaltet eine 24-monatige Garantie, die Teile und Arbeit für bis zu 24 Monate abdeckt, für beispiellose Ruhe.
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