Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293626328 zu verkaufen
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ID: 293626328
Furnace
Process: D-Poly
Process pressure: 73 Pa, 133 Pa
Process temperature: 510°C, 525°C, 530°C
Boat operation: (2) Boat type
Carrier ID Reader / Writer
ASYST ATR9100
Furnace:
Heater type: VMM-56-002 Mid temperature, (5) zones, 500°C - 1000°C
MA901-8FK09-Z250A Temperature controller
Wafer / Carrier handler:
Wafer type: 300 SEMI STD Notch
Carrier type: FOUP / 25-slots
(16) Carriers
Fork type / Material: 1+4 / Al2O3
Boat / Pedestal:
(100) Wafers
Boat material: SiC with CVD coat
Boat type: 117-Slots ladder
Pedestal type: Quartz
Process tube:
Material: Quartz
Inner type: Straight
Internal T/C type: Outer tube interior wall type
Tube sealing: O-Ring seal
Waves controller
Front operation panel
Front MMI and Gas Flow Chart (GFC)
Signal tower, 4-colours
Pressure display unit
Gas cabinet exhaust display unit
M560A Furnace temperature controller
Vacuum system:
Vacuum exhaust
CKD VEC Vacuum pressure controller
CKD VEC Valve
Pressure controller: MKS Capacitance manometer
Pressure monitor: MKS Capacitance manometer
Pump monitor: MKS Capacitance manometer
Gas distribution system:
Type: Integrated gas system
Tubing: Stainless steel
No tubing bends
Tube heater
FUJIKIN Manual valve
FUJIKIN Air-operated valve
MYKROLIS Pressure transducer
Soft backfill injector
Manifold heater
MFC:
SiH4 / 3 SLM
PH3 / 500 SCCM
PH3 / 50 SCCM
PH3 / 30 SCCM
ClF3 / 5 SLM
N2 / 3 SLM
N2 / 5 SLM (x4).
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K Diffusionsofen ist ein Stück Halbleiterverarbeitungsgeräte, das bei der Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterteilen verwendet wird. Der Ofen ist speziell für die Ionenimplantation, Oxidation und Glühprozesse konzipiert. Es rühmt sich hoher Präzision, Hochleistungsproduktionsfähigkeiten mit niedrigem Thermaloxydstress, das Erreichen der Qualitätsuniform setzt bis zu 250 mm des Oblatendiameters ein. TEL ALPHA 303IK umfasst mehrere fortschrittliche Technologien zur genauen und effizienten Steuerung aller Prozessparameter. Dazu gehören die patentierte Advanced Power Control (APC) -Ausrüstung, die über eine leistungsstarke Stromversorgung zur dichten Kontrolle von Plasmaeigenschaften und Gleichmäßigkeit verfügt, sowie die Double-Ti Diffusion (DTD) -Technologie, die Gasströme und Temperaturen exakt für einheitliche und wiederholbare Ergebnisse steuert. Das intuitive TELVision-Überwachungssystem bietet eine Echtzeit-Prozessüberwachung und -diagnose. Darüber hinaus sorgt der Advanced Motized Scanner (AMS) für hochpräzises, hochgeschwindiges Scannen von 25 mm Wafern. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verwendet auch eine patentierte Direct Pyrolyse Reduction (DPR) Unit, die es dem Diffusionsofen ermöglicht, niedrigere Temperaturpyrolyse (chemische Dampfabscheidung) -Prozesse mit hohem Durchsatz unter Vermeidung von Kaltwandeffekten und Prozessungleichförmigkeiten zu verwenden. Darüber hinaus ermöglicht das optionale MEMS Expansion Kit die Verarbeitung von MEMS (microelectromechanical systems) bei bis zu 10facher Vergrößerung für präzises Umformen und Ätzen. TEL ALPHA 303 I K verfügt über ein umfangreiches Zubehör zur Überwachung und Steuerung aller Aspekte des Diffusionsprozesses. Das Gerät umfasst eine automatisierte Verschlussmaschine für fehlerfreies Anfahren, einen HF-Leistungsgenerator zur Steuerung von Plasmaerzeugung und Impedanzanpassung, einen E-Box-Widerstandsregler zur Impedanzregelung, einen integrierten Regler zur Verwaltung aller Werkzeugfunktionen, eine Lastkammer zur Regelung der Substrattemperatur und eine Hochvakuumturpumpe. Um die Produktlebenszyklen zu maximieren und die Prozesswartung zu minimieren, entwarf TEL TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K mit einer robusten Konstruktion und erweiterten Sicherheitsfunktionen, einschließlich einer integrierten Sicherheitseinrichtung, die Unfälle und Schäden an Personal, Unterstützungsstrukturen und der Umgebung verhindert. Das Gerät verfügt auch über mehrere hilfreiche Funktionen für einfache Bedienung, einschließlich seines Designs für einfache Wartung und Transport. Darüber hinaus ist der Ofen zertifiziert, um die strengen Anforderungen der Sematech-Standards für Optik und Strahlensicherheit zu erfüllen. Die hochmoderne ALPHA 303 I K bietet modernste Leistung, um Ihre Produktionslinie auf höchstem Effizienzniveau zu halten. Die Kombination aus modernsten Diffusionstechnologien und umfassendem Zubehör sorgt für zuverlässige, wiederholbare und qualitativ hochwertige Verarbeitungsergebnisse, wodurch Ihre Produktionskosten niedrig und die Produkterträge hoch bleiben.
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