Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293626328 zu verkaufen

ID: 293626328
Furnace Process: D-Poly Process pressure: 73 Pa, 133 Pa Process temperature: 510°C, 525°C, 530°C Boat operation: (2) Boat type Carrier ID Reader / Writer ASYST ATR9100 Furnace: Heater type: VMM-56-002 Mid temperature, (5) zones, 500°C - 1000°C MA901-8FK09-Z250A Temperature controller Wafer / Carrier handler: Wafer type: 300 SEMI STD Notch Carrier type: FOUP / 25-slots (16) Carriers Fork type / Material: 1+4 / Al2O3 Boat / Pedestal: (100) Wafers Boat material: SiC with CVD coat Boat type: 117-Slots ladder Pedestal type: Quartz Process tube: Material: Quartz Inner type: Straight Internal T/C type: Outer tube interior wall type Tube sealing: O-Ring seal Waves controller Front operation panel Front MMI and Gas Flow Chart (GFC) Signal tower, 4-colours Pressure display unit Gas cabinet exhaust display unit M560A Furnace temperature controller Vacuum system: Vacuum exhaust CKD VEC Vacuum pressure controller CKD VEC Valve Pressure controller: MKS Capacitance manometer Pressure monitor: MKS Capacitance manometer Pump monitor: MKS Capacitance manometer Gas distribution system: Type: Integrated gas system Tubing: Stainless steel No tubing bends Tube heater FUJIKIN Manual valve FUJIKIN Air-operated valve MYKROLIS Pressure transducer Soft backfill injector Manifold heater MFC: SiH4 / 3 SLM PH3 / 500 SCCM PH3 / 50 SCCM PH3 / 30 SCCM ClF3 / 5 SLM N2 / 3 SLM N2 / 5 SLM (x4).
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K Diffusionsofen ist ein Stück Halbleiterverarbeitungsgeräte, das bei der Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterteilen verwendet wird. Der Ofen ist speziell für die Ionenimplantation, Oxidation und Glühprozesse konzipiert. Es rühmt sich hoher Präzision, Hochleistungsproduktionsfähigkeiten mit niedrigem Thermaloxydstress, das Erreichen der Qualitätsuniform setzt bis zu 250 mm des Oblatendiameters ein. TEL ALPHA 303IK umfasst mehrere fortschrittliche Technologien zur genauen und effizienten Steuerung aller Prozessparameter. Dazu gehören die patentierte Advanced Power Control (APC) -Ausrüstung, die über eine leistungsstarke Stromversorgung zur dichten Kontrolle von Plasmaeigenschaften und Gleichmäßigkeit verfügt, sowie die Double-Ti Diffusion (DTD) -Technologie, die Gasströme und Temperaturen exakt für einheitliche und wiederholbare Ergebnisse steuert. Das intuitive TELVision-Überwachungssystem bietet eine Echtzeit-Prozessüberwachung und -diagnose. Darüber hinaus sorgt der Advanced Motized Scanner (AMS) für hochpräzises, hochgeschwindiges Scannen von 25 mm Wafern. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verwendet auch eine patentierte Direct Pyrolyse Reduction (DPR) Unit, die es dem Diffusionsofen ermöglicht, niedrigere Temperaturpyrolyse (chemische Dampfabscheidung) -Prozesse mit hohem Durchsatz unter Vermeidung von Kaltwandeffekten und Prozessungleichförmigkeiten zu verwenden. Darüber hinaus ermöglicht das optionale MEMS Expansion Kit die Verarbeitung von MEMS (microelectromechanical systems) bei bis zu 10facher Vergrößerung für präzises Umformen und Ätzen. TEL ALPHA 303 I K verfügt über ein umfangreiches Zubehör zur Überwachung und Steuerung aller Aspekte des Diffusionsprozesses. Das Gerät umfasst eine automatisierte Verschlussmaschine für fehlerfreies Anfahren, einen HF-Leistungsgenerator zur Steuerung von Plasmaerzeugung und Impedanzanpassung, einen E-Box-Widerstandsregler zur Impedanzregelung, einen integrierten Regler zur Verwaltung aller Werkzeugfunktionen, eine Lastkammer zur Regelung der Substrattemperatur und eine Hochvakuumturpumpe. Um die Produktlebenszyklen zu maximieren und die Prozesswartung zu minimieren, entwarf TEL TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K mit einer robusten Konstruktion und erweiterten Sicherheitsfunktionen, einschließlich einer integrierten Sicherheitseinrichtung, die Unfälle und Schäden an Personal, Unterstützungsstrukturen und der Umgebung verhindert. Das Gerät verfügt auch über mehrere hilfreiche Funktionen für einfache Bedienung, einschließlich seines Designs für einfache Wartung und Transport. Darüber hinaus ist der Ofen zertifiziert, um die strengen Anforderungen der Sematech-Standards für Optik und Strahlensicherheit zu erfüllen. Die hochmoderne ALPHA 303 I K bietet modernste Leistung, um Ihre Produktionslinie auf höchstem Effizienzniveau zu halten. Die Kombination aus modernsten Diffusionstechnologien und umfassendem Zubehör sorgt für zuverlässige, wiederholbare und qualitativ hochwertige Verarbeitungsergebnisse, wodurch Ihre Produktionskosten niedrig und die Produkterträge hoch bleiben.
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