Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394532 zu verkaufen
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ID: 9394532
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
Furnace, 12"
Process: Silicon nitride (SiN) deposition process using dichlorosilane‑based chemistry
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das eine schnelle, präzise Niedertemperatur-Dünnschichtabscheidung verschiedener Materialien auf Substraten für den Einsatz in der Halbleiterherstellung ermöglicht. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Glühen, Wiederherstellung, Oxidation und Abscheidung von ultradünnen Filmen. Das fortschrittliche Steuerungssystem der Maschine bietet Präzisionssteuerung von Parametern wie Temperaturprofil, Zeit, Druck, Gasfluss und Atmosphärenzusammensetzung. Dies ermöglicht eine flexible und effiziente Herstellung hochwertiger, hochpräziser Dünnfolien. TEL ALPHA 303IK verfügt über ein leistungsstarkes Parallel Extended TEM (TEM) Prozessmodul. Dieses Modul ermöglicht eine genaue Kontrolle der Prozesstemperaturen bis 1000 ° C und bietet eine große Auswahl an Temperaturprofilen. Es verfügt auch über ein Ofenfenster zur Minimierung von Wärmeverlust und ein In-situ-Temperaturmesssystem, um eine einheitliche Temperaturregelung während des gesamten Prozesses zu gewährleisten. Mit einer Vielzahl optionaler Zubehörteile kann TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K für Anwendungen wie Glühen, Oxidation und Abscheidung von Platin-, Gold- und Siliziumoxid-Dünnfilmen verwendet werden. Es kann auch zum Schutz von Elektronenemitteroberflächen und zur Kontrolle der Oberflächenrauhigkeit von Materialien verwendet werden. Darüber hinaus ist die Maschine mit mehreren Arten von Materialien kompatibel, einschließlich verschiedener Metalle, Siliziumscheiben, GaN-Kristalle und Glas. ALPHA 303IK ist schnell, effizient und einfach zu installieren und zu bedienen. Es verfügt über einen benutzerfreundlichen Touchscreen und verschiedene Sicherheitsfunktionen, wie ein geerdetes Chassis, Hochspannungsisolierung und Dichtheitsprüfüberwachung. Darüber hinaus ist es kompakt und hoch tragbar, so dass es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Produktionsprozessen in verschiedenen Einstellungen. Insgesamt ist Alpha 303i-K ein Hochleistungs-Diffusionsofen und Zubehör, das den Anforderungen der Halbleiterhersteller gerecht wird. Mit seinem fortschrittlichen Steuerungssystem und einer großen Auswahl an optionalem Zubehör ermöglicht es eine schnelle, präzise und gleichmäßige Dünnschichtabscheidung und ist damit eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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