Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606617 zu verkaufen

ID: 293606617
Weinlese: 2005
LPCVD Furnace 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein umfassender Diffusionsofen und Zubehör für die thermische Verarbeitung von Wafern und Geräten. Diese vollautomatische Ausrüstung ist ideal für den Einsatz in der Herstellung von Silizium-on-Isolatoren (SOI), Verbundhalbleitern und MEMS-Bauelementen. Es bietet einen hohen Produktionsdurchsatz, eine einfache Integration mit vorhandenen Fertigungswerkzeugen und eine hervorragende Gerätequalität. Das 303i-K verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Prozessfähigkeiten, darunter schnelle thermische Verarbeitung (RTP), Oxidreflow, Gold/Metall-Reflow und hyperthermische SiO2-Abscheidung. Sein leistungsstarkes Autocontrol-System bietet auch eine hochpräzise Temperaturregelung, die eine genaue Wiederholbarkeit und Genauigkeit des Profils während mehrerer Verarbeitungsläufe ermöglicht. Die Maschine ist mit einer einzigartigen Kühleinheit ausgestattet, die Kantendielektrikumsverlust und Verzug durch thermisch induzierte Beanspruchung reduziert. Die Maschine arbeitet durch Kühlung der oberen und hinteren Oberflächen der Wafer bzw. Vorrichtungen, während die Seiten entsprechend dem gewünschten Prozeßprofil beheizt bleiben. Dadurch wird eine hocheffiziente Wärmediffusion gewährleistet, wobei Schäden durch ungleichmäßige oder übermäßige Erwärmung begrenzt werden. Darüber hinaus umfasst das 303i-K eine Reihe fortschrittlicher Sicherheitsmerkmale, darunter ein Schutzschild und ein hochzuverlässiges Nothaltewerkzeug. Es wurde kürzlich von einem unabhängigen Labor für RoHS-Compliance zertifiziert, das seinen Einsatz in vielen Ländern der Welt ermöglicht. Die Maschine bietet auch Fernüberwachungs- und Wartungsfunktionen und bietet Benutzern Zugriff auf Echtzeit-Produktleistungsdaten. Schließlich verfügt die 303i-K über flexible Betriebsarten, die es dem Benutzer ermöglichen, die Einstellungen der Maschine an die individuellen Anforderungen eines bestimmten Geräts anzupassen. Die intuitive Benutzeroberfläche sowie die umfassende Dokumentation ermöglichen es Benutzern ohne vorherige Erfahrung, sich schnell mit dem Asset vertraut zu machen und seine erweiterten Funktionen voll auszuschöpfen. Insgesamt ist TEL ALPHA 303IK eine effektive Lösung für die thermische Diffusion und Herstellung, die eine hervorragende Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit bietet.
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