Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381807 zu verkaufen
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ID: 9381807
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K Diffusionsofen ist ein hochmodernes thermisches Behandlungssystem, das eine präzise und genaue thermische Verarbeitung verschiedener Halbleitermaterialien ermöglicht. Dieses System ist so konzipiert, dass es Hochtemperaturglühungen von Substraten in einer kontrollierbaren thermischen Umgebung durchführen kann. Das 303i-K verfügt über eine gleichmäßig verteilte beheizte Zone und ein einfach zu bedienendes Panel, das Anwendern eine breite Palette von Prozessoptionen und Temperaturen bis zu 1200 ° C bietet. Der Diffusionsofen kann zwei Zoll bis zu fünf-Zoll-Wafer aufnehmen und ist in der Lage, vertikal zu heizen, ein Prozess, der bessere und konsistentere Ergebnisse dank der verbesserten Wärmeflussmuster schafft, und vertikale Erwärmung hilft auch die Oberfläche des Substrats vor Oxidation zu schützen. Die verriegelte Haustür der Maschine sorgt für vollständige Sicherheit im Einsatz und sorgt dafür, dass der Ofen vor dem Zugriff richtig abkühlt. Darüber hinaus bietet das 303i-K schnelle Abkühlzeiten und kann mit einem Abdeckverschluss abgedichtet werden, wodurch die Oxidation der Oberfläche reduziert wird. Eine breite Palette von Zubehör ist verfügbar, um den Betrieb von TEL ALPHA- 303IK zu ergänzen, einschließlich Ofenplatten, Spulen, Endschalter und Temperaturüberwachungskabel. Es können verschiedene Elemente gewählt werden, um die gewünschte Temperatureinstellung, Pulszyklus und gleichmäßige Temperaturverteilung innerhalb der Kammer zu erleichtern. Die Software Advanced Kinetics Control (AKC +) von 303i-K hilft auch dabei, jeden Parameter genau zu steuern und die Prozessergebnisse genau zu verfolgen. So können Anwender den Prozess auf optimale Leistung und maximalen Durchsatz abstimmen. Zusätzlich verfügt die Maschine über zwei in situ elektrische Kontakte zur Prüfung des Wafer-Pegelwiderstandes, mit denen die Prozessergebnisse direkt aus dem Ofen ausgewertet werden können. Alles in allem bietet TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K zuverlässige und präzise thermische Verarbeitungsmöglichkeiten, benutzerfreundliches Design, Hochtemperaturheizung und eine Vielzahl von Substratgrößen für eine breite Palette von Materialien. Kombiniert mit einer Auswahl an voll ausgestattetem Zubehör und Software ist der 303i-K der ideale Diffusionsofen für eine Vielzahl von High-Tech-Anwendungen.
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