Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381810 zu verkaufen
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ID: 9381810
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist eine Diffusions- und Zubehörkombination, die speziell für die schnelle thermische Verarbeitung (RTP) entwickelt wurde. Diese maßgeschneiderte Lösung umfasst eine Temperaturregeleinrichtung, ein Lastschloßsystem und eine Top-Ladeprozesskammer. Es ist sehr zuverlässig, mit fortschrittlicher Genauigkeit und Stabilität, so dass Benutzer eine überlegene Einheitlichkeit und optimale Ergebnisse in ihren RTP-Prozessen erzielen können. Die Temperatursteuereinheit von TEL ALPHA 303IK besteht aus einer großen, farbigen Touchscreen-Schnittstelle, die eine einfache und intuitive Manipulation der Heiz- und Kühlzyklen des Ofens ermöglicht. Die Maschine kann auf 300-1200 ° C programmiert werden, mit einer einstellbaren Rampenrate von bis zu 200 ° C/min. Dieses Kontrollwerkzeug verwendet auch einen PID-Algorithmus zur schnellen Temperaturregelung, der eine überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Darüber hinaus ist der Temperaturbereich von TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K für Niederdruckoperationen ausgelegt, die den Abbau der Oberflächenqualität während des Prozesses minimieren. Das Load Lock Asset von TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK wurde entwickelt, um eine schnelle und effiziente Beladung von Substraten in die Kammer zu ermöglichen, ohne das Modell abkühlen und aufwärmen zu müssen. Dadurch wird sichergestellt, dass Anwender die thermische Zykluszeit minimieren und gleichzeitig ein konsistentes Temperaturregime beibehalten können, wodurch eine mögliche Beschädigung komplexer Prozessmodule und instabiler Substrate vermieden wird. Ein weiterer Vorteil dieser Ausrüstung ist, dass sie eine schnelle Austauschbarkeit der Teile, eine weitere Verringerung der Zykluszeit und Wartungskosten ermöglicht. Die Top-Ladeprozesskammer der ALPHA 303 I K ist speziell für RTP konzipiert. Dieses System ist hochgenau, mit einer Gleichmäßigkeit von etwa 2 bis 5 ° C/Zone, so dass wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse jedes Mal. Die Kammer ist auch so ausgelegt, dass die Kühlzeit verringert wird, was eine schnellere Wendung zwischen den Prüfläufen ermöglicht. Darüber hinaus ist die Kammergröße anpassbar, so dass jede Oberfläche mit der gleichen Exposition behandelt werden kann. ALPHA 303IK ist die perfekte RTP-Einheit und bietet die beste Kombination aus Genauigkeit, Geschwindigkeit und Skalierbarkeit für Ihre thermischen Verarbeitungsanforderungen. Mit seiner fortschrittlichen Temperaturregelmaschine, Lastverriegelungswerkzeug und Top-Ladeprozesskammer ist diese Ressource wesentlich für die Erzielung überlegener Ergebnisse in allen Arten von thermischen Prozessen.
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