Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293808461 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K Diffusionsofen ist ein hochleistungsfähiger, professioneller Ofen für die Einzelwaferdiffusion. Es bietet eine ultrastabile Plattform für die Substratlieferung und -verarbeitung. Dieser Ofen ist für mehrschichtiges Ätzen und Abscheiden auf kleinen und großen Substraten mit einer maximalen Wafergröße von bis zu 8 Zoll ausgelegt. Das Herzstück von TEL ALPHA 303IK ist seine energieeffiziente Hochtemperatur-Heizkammer, die Temperaturen bis zu 1400 ° C für eine schnelle thermische Glühung und Oxidation bietet. Es verwendet ein direkter Antrieb, Hochtemperatur-Quarzlampen-Array, das eine gleichmäßige, konsistente Wärmeverteilung über die gesamte Oberfläche des Wafers ermöglicht. Das einstellbare, stufenförmige Temperaturprofil ermöglicht eine genaue Steuerung des Temperaturgradienten im gesamten Ofenraum. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verfügt über einen hochbelastbaren mechanischen Rahmen mit Dual-Ionsheild-Dichtungen, die gleichmäßige thermische und kinetische Eigenschaften bei hohen Temperaturen gewährleisten. Es kommt auch mit einer Suite von Zubehör, darunter ein Roboterelement, eine Reihe von automatisierten Sensoren, ein unabhängiges Atmosphäre-Versorgungssystem und ein intuitives Softwarepaket, so dass Benutzer ihre Einstellungen einfach programmieren können. Der Ofen ist mit einer Vielzahl fortschrittlicher Sicherheitsmerkmale ausgestattet, einschließlich mehrerer Temperatursonden zur Erkennung gefährlicher Temperaturunterschiede, Drucksensoren zur Erkennung der Möglichkeit einer Teilverschmutzung und einem Vakuumunterbrechungsschalter, um den Betrieb des Ofens in Notsituationen zu stoppen. ELEKTRON-Alpha von TOKIO 303i-K wird mit E-Clean™ eine Hauptpräzision cleanroom Automationssystem völlig integriert, es ideal für cleanroom Umgebungen sowie traditionelle Produktionseinstellungen machend. Alpha 303i-K bietet eine zuverlässige, wiederholbare und kostengünstige Lösung für fortschrittliche Diffusionsprozesse. Mit seinem hochmodernen Design und den fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K Diffusionsofen der Höhepunkt von Einzelwafer-Diffusionsmaschinen.