Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606624 zu verkaufen

ID: 293606624
Weinlese: 2005
LPCVD Furnace 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und Zubehör für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Es ist eine thermisch stabile Plattform für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung. Der Ofen hat einen Arbeitsdruck von 300 Torr und eine maximale Betriebstemperatur von 2000 ° C. Es ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie einem BN55 magnetisch verbesserten Quarzfenster, einem Wasserstoff/Argon-Thermoabschaltventil und einem Infrarot-Thermographiesystem zur Temperaturerfassung. TEL ALPHA 303IK bietet eine Standard-Wafergröße von 6 Zoll und eine maximale Waferdicke von 2000 µm. Es hat eine Quarzheißzone mit einer Aluminiumoxid-Auskleidung und kann bis zu drei Stücke Quarz innerhalb der Kammer aufnehmen. Das System ermöglicht die rückseitige Erwärmung des Wafers über eine dielektrische Heizplatte und verfügt über einen zweikanaligen µW-Stufenregler. Der Ofen ist in der Lage, bis zu 24 Quarz zu kontrollieren. Es ist auch mit fortschrittlichen Temperaturmess- und Kontrollfunktionen ausgestattet. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K hat eine Standardverarbeitungszeit von 10 Minuten zum Erwärmen auf eine gegebene Temperatur. Der Ofen kann Wafer unterschiedlicher Größen und Formen akzeptieren, was eine Prozessoptimierung ermöglicht. Es enthält auch ein hocheffizientes ICV-Ventil, ein Luftkühlsystem und einen Heizungsmelder. ALPHA 303 I K eignet sich für Niedertemperaturprozesse, wie Oxiddielektrizitätswachstum und Kontaktbildung. Es ist auch ideal für Hochtemperaturprozesse, wie Glühen und Metallisieren. Es hat die Fähigkeit, in einem vollautomatischen Modus betrieben werden und die Fähigkeit, individuelle Rezepte durch die TEL-Programmiersprache des Unternehmens hochladen. ALPHA 303IK ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug für fortschrittliche Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Die eingebauten Sicherheitsmerkmale sorgen für einen sicheren Betrieb und die wartungsarme Konstruktion für höhere Erträge und niedrigere Betriebskosten. Seine fortschrittliche Temperaturkontrolle und Messfähigkeiten machen es zu einer idealen Wahl für jedes Forschungs- und Entwicklungslabor.
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