Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606621 zu verkaufen

ID: 293606621
Weinlese: 2005
LPCVD Furnace 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör für Substratmaterialien, die in einer Vielzahl von technologischen Anwendungen verwendet werden. Der Ofen ist Teil der 303-Series von Diffusionsöfen, eines der frühen Beispiele der japanischen Diffusionsofentechnologie, die in den 1980er Jahren entwickelt wurde und heute im industriellen Maßstab weit verbreitet ist. TEL ALPHA 303IK verfügt über eine Drei-Zonen-Quarzkeramikkammer, die Temperaturen von 1.000, 1100 und 1200 ° C erreichen kann und eine präzise Steuerung der Diffusionszone ermöglicht. Es ist so konzipiert, dass es auf einem Ständer, Schreibtisch oder einem anderen Träger platziert werden kann, mit einem speziellen Lüftungssystem zur sicheren Beseitigung von Emissionen aus der Kammer. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verwendet eine einzige Halogen- oder Xenonquelle zum Erwärmen des Materials, obwohl andere Heizquellen möglicherweise über TEL oder andere spezialisierte Hersteller oder Lieferanten verfügbar sind. Die Kammer weist außerdem ein Acht-Zoll-Waferrohr auf, das eine schnelle und genaue Übertragung von Wafern von der Kammer in die eigentliche Diffusionszone ermöglicht. Weitere Merkmale sind ein eingebetteter Controller, der mit einer Vielzahl von Parametern und Einstellungen wie Temperatur, Druck, Heizrate, Wafergröße und mehr programmiert werden kann. Mit dem Embedded Controller können Anwender auch zeitgesteuerte Prozesse problemlos einrichten und einen automatisierten Betrieb der Kammer ermöglichen. Zu den Sicherheitsmerkmalen von TEL Alpha 303i-K gehören zwei Sicherheitssensoren, die Temperatur und Druck überwachen und die Diffusionskammer abschalten können, wenn eines der Sicherheitskriterien überschritten wird. Darüber hinaus enthält die Vakuumkammer eine Vielzahl von Sensoren, einschließlich Druck und Temperatur, die bei gefährlichen Situationen wieder zum Abschalten des Ofens verwendet werden können. Insgesamt ist ALPHA 303 I K ein zuverlässiger und vertrauenswürdiger Diffusionsofen mit einer Vielzahl von Merkmalen, die sich ideal für Fertigungs- und Entwicklungsprozesse eignen. Sorgfältige Überlegung und effizientes Heizsystem sowie seine Sicherheitsmerkmale machen TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K zu einer idealen Wahl für Industriekunden.
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