Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293690686 zu verkaufen

ID: 293690686
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Furnace, 12" MTO 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und Zubehör für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet. Es verfügt über zwei unabhängige Heizzonen, die entweder ein- oder zweizügig betrieben werden können und mit einer Vielzahl von Gas-/Sauerstoffversorgungsquellen gesteuert werden können. TEL ALPHA 303IK ist einfach zu bedienen und bietet eine Vielzahl von Funktionen, die es seinen Anwendern ermöglichen, eine Vielzahl von Prozessen wie Abscheidung, Oxidation, Dotierung und Ätzen schnell und effizient durchzuführen. Das System ist mit einer automatischen Inbetriebnahme und Abschaltung Sequenzen ausgelegt, so dass es noch benutzerfreundlicher. Die beiden Heizzonen sind im Vakuum eingeschlossen und können in einem einzigen Modus betrieben werden, der zwischen 500 und 1600 Grad Celsius liegt, oder in einem Dual-Modus, der Temperaturen von bis zu 1000 bis 2000 Grad Celsius oder höher ermöglicht. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Prozesskombinationen je nach Material oder Produkt. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verfügt über eine eingebaute Kühleinheit, die mit einem Wärmetauscher und einer Umwälzpumpe arbeitet. Dadurch wird sichergestellt, dass die Maschine immer bei einer sicheren Temperatur arbeitet und auch die Lebensdauer der Anlage verlängert. Das leistungsstarke Gasverteilungswerkzeug mit kapillargetriebenen Massenstromreglern sorgt für eine hervorragende Gasgleichförmigkeit in der gesamten Kammer. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK ist auch mit einer Hilfsgaszuleitung ausgestattet, die zusätzliche und/oder kundenspezifische Gaskombinationen ermöglicht. Darüber hinaus ist es in der Lage, Vakuumniveaus bis zu 10-3 Pa bereitzustellen, was es ideal für Anwendungen einschließlich Hochtemperaturverarbeitung und Hochtemperaturvakuumbehandlungen macht. Schließlich ist TEL ALPHA 303 I K mit einer modularen Architektur konzipiert, um eine optimale Zugänglichkeit und Flexibilität beim Austausch von Komponenten zu gewährleisten. Insgesamt ist ALPHA 303 I K ein leistungsstarker und einfach zu bedienender Diffusionsofen und Zubehör. Es kann eine breite Palette von Prozessen durchführen und bietet ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Vakuumniveau, so dass es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen.
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