Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606620 zu verkaufen

ID: 293606620
Weinlese: 2005
LPCVD Furnace 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen und Zubehör für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen. Es kann bis zu 250 fph maximale Diffusion und ist mit fortschrittlichen Temperaturreglern und Gleichmäßigkeitskontrollen für eine präzise Temperatur- und Prozessregelung ausgestattet. Der Ofen verwendet ein radikalisches Quellendiffusionsverfahren, das ein niedriges Co-Temperatur- und kostengünstiges Verfahren mit einer kurzen Waferbearbeitungszeit kombiniert. TEL ALPHA 303IK verfügt über eine große Kammergröße von 250 x 600mm, mit einem großen automatischen Gaskasten und einem pneumatischen aufhebbaren Kassettenlader. Ein Premium-Heißluftkühlsystem sorgt für eine hocheffiziente Kühlung ohne Wärmerückführung und vermeidet Verschmutzungen durch Heißgas. Der Regler bietet eine wiederholbare und stabile Hochtemperaturregelung. Ein integriertes Prozess-Trace-System mit Rezeptverwaltung speichert und verwaltet bis zu 1000 Prozessdatenelemente. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K wurde entwickelt, um die Produktionsausbeuten zu verbessern und ist für die Massenproduktion geeignet. Es ist zuverlässig und wird mit einem wartungsfreien Design geliefert, wodurch häufige Wartungsvorgänge entfallen. Der Ofen ist hocheffizient und kann bis zu 250 fph laufen, was die Zykluszeit für industrielle Produktionsprozesse deutlich reduziert. Der Gaskasten und Wafer Size Estimator (WSE) -Sensor bieten eine präzise Gasflusssteuerung, was den Gasverbrauch reduziert. Zudem garantieren die eingebauten Selbstdiagnosefunktionen konsistente Prozessergebnisse. TEL ALPHA 303 I K bietet maximale Flexibilität in der Geräteproduktion und erleichtert den Prozesswechsel über das intuitive 7-Zoll-Farb-LCD-Touchpanel. Das mehrschichtige SSH (Secure Shell) Netzwerk/Speichersystem speichert und verwaltet bis zu 500 Rezepte und ermöglicht auch die Remote-Prozessüberwachung und Datenaufbewahrung für zukünftige Inspektionen. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein einfach zu installierender und wartungsarmer Diffusionsofen und Zubehör. Es ist eine ideale Wahl für Halbleiterherstellungsprozesse, die Genauigkeit, Wiederholbarkeit und zuverlässige Leistung zu einem angemessenen Preis bieten.
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