Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293607142 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 293607142
Furnace Process: Oxide anneal.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen wie Halbleiterscheibe und Photomaskenproduktion, Abscheidung und Ätzen sowie schnelle thermische Prozesse entwickelt wurde. TEL ALPHA 303IK bietet einen leistungsstarken und zuverlässigen Betrieb in einer energieeffizienten Plattform. Das Diffusionsofensystem von TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K wird von drei Elektroden, zwei Kathoden und einer Anode unterstützt. Die Anode ist eine negative Vorspannungsquelle, die dem Ofen eine hohe Feldstärke verleiht. Die beiden Kathoden sind in der Lage, Leistungsstufen bis zu 3KW zu erzeugen, so dass das Stück so hohe Temperaturen erreichen und gleichzeitig minimale Leistung verbrauchen. Der Diffusionsofen besteht aus einem Hochtemperaturtiegel; eine Temperatursteuereinheit; ein Thermometer zum Ablesen der Temperatur innerhalb des Ofens; einen Kühlturm und Raum zum Einleiten inerter Gase bei hoher Temperatur; einen Wärmedorn; und elektrische Stromversorgung, um die Energieverteilung zu steuern. Der Hochtemperaturtiegel ist mit einem Quarzrohr ausgekleidet, das dafür sorgt, dass der elektrische Strom während des Diffusionsprozesses gleichmäßig verteilt wird. Das Thermometer ist mit einer Temperatursonde ausgestattet, die die Innentemperatur des Ofens in Echtzeit genau erfassen kann. Der Kühlturm und der Raum ermöglichen eine Abkühlung des Ofens nach dem Diffusionsprozess mit einem Inertgas wie Stickstoff und Argon. Dadurch soll ein zuverlässiger Betrieb unter verschiedenen Bedingungen aufrechterhalten werden, wodurch die Oxidation minimiert wird, die nach Beendigung des Diffusionsprozesses auftreten kann. Zubehör wie Blasen, Sauerstoffsensoren, Pumpen, Befeuchter und antistatische Käfige sind ebenfalls mit Alpha 303i-K kompatibel. Ein spezieller Auslass ist vorgesehen, um die schnelle und zuverlässige Entfernung von wasserbasierten Kühl- und Antioxidationsmitteln nach dem Diffusionsprozess zu ermöglichen. Darüber hinaus ist TEL Alpha 303i-K mit Warnmeldern und Notabschaltfunktionen ausgestattet, die jederzeit einen sicheren Betrieb gewährleisten. Insgesamt ist TEL ALPHA 303 I K eine fortschrittliche Diffusionsofeneinheit, die einen zuverlässigen und leistungsstarken Betrieb bei minimalem Stromverbrauch bietet. Mit seiner Kombination von Funktionen sowie seinem Zubehör ist diese Maschine eine gute Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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