Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #82006 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 82006
Vertical Nitride Furnace, 12"
OHT Automation
12" SEMI Std – Notch
Wafer Notch Aligner
Carrier Type FOUP: Entegris A300
Buffer capacity: 16 FOUPS
Fork Material: 1+4 Al2O3 Standard
Boat type: (127) slots, 7mm pitch
Boat rotation: installed
Pedestal: Quartz + SiC
System Controller: WAVES
M560A Phase Furnace Temperature Controller
Heater Type: FTP VOS-56-003 4-zone / RT – 1050C
Process Pressure: 190mTorr
2-Boat type operation
Carrier I/D Reader: Asyst RF
Gas Distribution
Fujikin Manual Valve
Fujikin air-operated valves
Mikrolis filter
Kinetics (Unit) Digital MFC
MKS/Asahi Keiki Pressure Transducers
Soft backfill injector installed
Vacuum Exhaust Heated with MKS Heaters
CKD-VEC Vacuum pressure controller
Vacuum Gage – Pressure Controller MKS (Hot) Capacitance Manometer
Main Valve is CKD Combo
Water Cooled Trap
Rapid Cooling Unit
480VAC 3 phase 60 Hz, 250A
120VAC one phase 60Hz, 50A
Power box Top input entrance location
Gas System
N2O 0.5 SLM
N2 (spare) 5SLM
N2 (Spare 5SLM
SiH2Cl2 0.2SLM
NH3 2.2SLM
Pure N2 (130SLM)
N2 Purge Box
Pure N2 –3 1100SLM
Pure N2-4 500SLM
Rapid Cooling Unit
CDA
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K Diffusionsofen ist ein hochleistungsfähiger, professioneller Ofen für die Einzelwaferdiffusion. Es bietet eine ultrastabile Plattform für die Substratlieferung und -verarbeitung. Dieser Ofen ist für mehrschichtiges Ätzen und Abscheiden auf kleinen und großen Substraten mit einer maximalen Wafergröße von bis zu 8 Zoll ausgelegt. Das Herzstück von TEL ALPHA 303IK ist seine energieeffiziente Hochtemperatur-Heizkammer, die Temperaturen bis zu 1400 ° C für eine schnelle thermische Glühung und Oxidation bietet. Es verwendet ein direkter Antrieb, Hochtemperatur-Quarzlampen-Array, das eine gleichmäßige, konsistente Wärmeverteilung über die gesamte Oberfläche des Wafers ermöglicht. Das einstellbare, stufenförmige Temperaturprofil ermöglicht eine genaue Steuerung des Temperaturgradienten im gesamten Ofenraum. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verfügt über einen hochbelastbaren mechanischen Rahmen mit Dual-Ionsheild-Dichtungen, die gleichmäßige thermische und kinetische Eigenschaften bei hohen Temperaturen gewährleisten. Es kommt auch mit einer Suite von Zubehör, darunter ein Roboterelement, eine Reihe von automatisierten Sensoren, ein unabhängiges Atmosphäre-Versorgungssystem und ein intuitives Softwarepaket, so dass Benutzer ihre Einstellungen einfach programmieren können. Der Ofen ist mit einer Vielzahl fortschrittlicher Sicherheitsmerkmale ausgestattet, einschließlich mehrerer Temperatursonden zur Erkennung gefährlicher Temperaturunterschiede, Drucksensoren zur Erkennung der Möglichkeit einer Teilverschmutzung und einem Vakuumunterbrechungsschalter, um den Betrieb des Ofens in Notsituationen zu stoppen. ELEKTRON-Alpha von TOKIO 303i-K wird mit E-Clean™ eine Hauptpräzision cleanroom Automationssystem völlig integriert, es ideal für cleanroom Umgebungen sowie traditionelle Produktionseinstellungen machend. Alpha 303i-K bietet eine zuverlässige, wiederholbare und kostengünstige Lösung für fortschrittliche Diffusionsprozesse. Mit seinem hochmodernen Design und den fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K Diffusionsofen der Höhepunkt von Einzelwafer-Diffusionsmaschinen.
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