Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9297192 zu verkaufen
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ID: 9297192
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Vertical diffusion furnace, 12"
Process: TEOS
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das sich für vielseitige Prozessanwendungen wie Hochtemperaturglühen, CVD und Verunreinigungsdiffusion eignet. Der Ofen kommt mit einer Vielzahl von innovativen Eigenschaften für zuverlässige und qualitativ hochwertige Ergebnisse. Der Ofen verfügt über eine Kammertemperatur von bis zu 1000C mit einer einstellbaren Heiz- und Kühlrate von 10C und 1200C/min. Die Kammer ist aus Hochleistungs-Graphitmaterialien mit effizientem thermischem und elektrischem Widerstand aufgebaut. Diese Kammerkonstruktion gewährleistet eine überlegene Temperaturgleichförmigkeit mit maximal +/- 5% über den gesamten Temperaturbereich. Der Diffusionsofen wird auch mit einem Echtzeit-Temperaturregelsystem, mit einem kombinierten Controller und PID mit einzigartiger Auto-Tuning-Funktion ausgestattet. Dies gewährleistet eine präzise Temperaturregelung und führt zu einem sehr gleichmäßigen Ergebnis über den gesamten Temperaturbereich. Die Kammer von TEL ALPHA 303IK ist mit einer Temperatursonde und Gaseinlässen mit einem Gasweg ausgestattet, der Verstopfungen verhindern und eine überlegene Gleichmäßigkeit des Gasstroms gewährleisten soll. Es gibt auch spezielle Entlüftungslöcher, um verdampfte Verunreinigungen zu reduzieren, die Wafer verunreinigen könnten. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verfügt auch über ein Quarz rotierendes Bootsregal und ein Ladesystem mit einer maximalen Kapazität von 100 Wafern. Das Quarzregal ist ideal für Gleichmäßigkeit und Wärmeverteilung. Das Drehregal sorgt auch dafür, dass die Wafer gleichmäßig ausgebreitet werden, um die Gleichmäßigkeit zu erhöhen. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K verfügt auch über ein großes Sichtfenster, das von außen laden kann. Dies ist perfekt für die Überwachung der Prozesstemperaturen und für die manuelle Einstellung der Temperatur, ohne die Kammer zu öffnen. Der Ofen weist außerdem eine Quarzsubstratheizung auf, die unabhängig voneinander gesteuert werden kann und eine präzise Erwärmung über die Kammer ermöglicht. Mit seiner Präzisionstechnik und seinen einzigartigen Eigenschaften bietet TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K außergewöhnliche Qualität und Leistung für den Diffusionsprozess. Die benutzerfreundliche Schnittstelle, kombiniert mit effizienten thermischen und elektrischen Eigenschaften, sorgen für zuverlässige und qualitativ hochwertige Ergebnisse. Dies ist eine ideale Wahl für jedes Labor oder jede professionelle Einrichtung, die ein hochpräzises Diffusionsofensystem sucht.
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