Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381804 zu verkaufen
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ID: 9381804
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Qualitätsdiffusionsofen und Zubehör für die Halbleiterherstellung. Dieses Gerät kann Temperaturen bis zu 1200 ° C thermisch verarbeiten. Es ist mit einem fortschrittlichen Diffusionsofenbau konstruiert, der ihm eine extra lange Lebensdauer und Konformität mit den meisten Materialien in der Produktion verleiht. Dieser Ofen verfügt über hochmoderne Sicherheitsvorrichtungen, eine schnelle Heizstromversorgung und eine fortschrittliche Abgasanlage, die zusammen einen sichereren Betrieb und eine bessere Effizienz gewährleisten. TEL ALPHA 303IK Diffusionsofen ist mit drei primären Abschnitten namens Kammern ausgelegt. Die drei Kammern umfassen Vorlastkammer, Bearbeitungskammer und Lastschloßkammer. Die Vorlastkammer beherbergt ein Heizelement, das von einer Induktionsstromversorgung, einem Temperaturregler und einem Hochvakuumventil angetrieben wird. Alle drei Kammern sind isoliert, abgedichtet und bieten eine kontrollierte Umgebung für unterschiedliche thermische Prozesse. Die Bearbeitungskammer ist mit einer feuchtigkeitsfreien Kammer, Infrarotheizungen, elektrischer Isolierung und Quarzrohr ausgestattet. Mit dieser Kammer wird die für thermische Prozesse notwendige Temperatur und Umgebung gesteuert. Die Lastschloßkammer sorgt für die notwendige Übertragungskammer und Druckwaage. Dies ist notwendig, wenn Transportanforderungen bestehen. Um die Einhaltung der Qualitäts- und Produktionsstandards zu gewährleisten, ist TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K mit einer Reihe von Sensoren ausgestattet. Dazu gehören Thermoelemente, Drucksensoren, Pyrometer, Temperaturregler und elektrische Tester. Mit diesen Sensoren ist der Bediener in der Lage, maximale Präzision und Effizienz durch die Überwachung aller Bedingungen der Substratoberfläche zu erreichen. Die auf ALPHA 303IK montierte Kühlkörpereinheit ist mit vier Quarzlampen ausgestattet, die Wärme genau und mit minimalem Energieverlust aufnehmen und übertragen können. Diese Art von Kühlkörpermaschine sorgt für thermische Verarbeitungsstabilität, ein homogenes Temperaturprofil innerhalb des Werkzeugs und weniger thermisches Zyklus für weniger Beanspruchung von Wafern oder Substrat. Schließlich ist ALPHA 303 I K für die meisten Produktionsstandorte konzipiert, da es über ein kompaktes und solides Gerüst verfügt. Der Regler, die Gasleitungen und die Kühlwasserleitung sind alle in den Grundkörper integriert. Diese Art der Konstruktion reduziert auch die Zeit, die es braucht, um die Einrichtung durchzuführen und verringert auch die Gesamtkosten. Insgesamt ist Alpha 303i-K ein hochwertiger, effizienter Diffusionsofen und Zubehör, das in der Halbleiterproduktion verwendet wird. Dieses vielseitige Gerät ist mit einem hochmodernen Sicherheitsgerät, einer schnellen Heizstromversorgung und fortschrittlichen Abgasanlagen ausgestattet. Es ist mit einem Satz von drei Kammern entworfen, die sichere Übertragung, Temperatur und Druckregelung ermöglichen. Schließlich verfügt das Modell über eine einzigartige Kühlkörperausrüstung und eine kompakte Konstruktion für eine einfache Montage an jedem Produktionsstandort.
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