Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381809 zu verkaufen
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ID: 9381809
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein hochmoderner Diffusionsofen, der ein ideales Werkzeug für die Durchführung von Halbleiterforschung und -entwicklung ist. Die Vorrichtung weist einen Graphit-Suszeptor auf, der von einer Quarzkammer mit einem einzigartigen Gasverteilungssystem umgeben ist. Diese Kammer ist innerhalb des Aluminiumgehäuses auf einer intensiv PID (programmierbare Schnittstelleneinrichtung) gesteuerten Stufe gehalten, was eine präzise Temperaturregelung ermöglicht. Dies ermöglicht es dem Anwender, Prozesse wie Oxidation und Diffusion von Materialien genau und wiederholt durchzuführen. TEL ALPHA 303IK verfügt über drei abgedichtete Heizelemente, die das doppelwandige Quarzrohr zusammen mit einem leistungsstarken Wirbelstromgenerator und Abkühlsystem nutzen. Dies ermöglicht eine enge Temperaturregelung bis 1.500 ° C und eine gleichmäßige Gasabdeckung, was zu konsistenteren und zuverlässigeren Ergebnissen führt. Darüber hinaus kann der Suszeptor durch Suszeptoren aus verschiedenen Materialien ersetzt werden, um die Vielfalt der verfügbaren Verfahren wie Anodisierung, eutektische Technik, SiC-Aufdampfung und andere Halbleiterprozesse zu erweitern. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K umfasst weitere Komponenten wie ein Plasmasteuergerät, Gasflussregler, Sensoreinheit, Probenwärme/Kühl-Regler und Notabschaltsysteme. Dies sorgt für Sicherheit und verhindert Beschädigungen des Gerätes oder der Probe. Darüber hinaus kann der eingebaute PC des Ofens verwendet werden, um nach der Erstellung bis zu 128 Programme zu speichern, sodass der Benutzer auf seine getesteten Parameter mit Leichtigkeit und Effizienz zugreifen kann. ALPHA 303 I K ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Seine Eigenschaften machen es zu einem leistungsstarken Werkzeug für die Erzielung hoher Erträge von komplexen, leistungsstarken Bauelementen wie hochdichten Transistoren, Speicherchips und Prozessoren, die höchste Präzision erfordern. Dies führt zu einer höheren Geräteleistung und stärkt den Ruf von TEL ALPHA 303 I K als einer der zuverlässigsten und genauesten Diffusionsöfen, die derzeit auf dem Markt sind.
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