Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381826 zu verkaufen
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ID: 9381826
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: SiH4 / N2O
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K Diffusionsofen ist ein Werkzeug für die hochwertige, präzise Herstellung von Wafern. Es ist ein Mehrzonenofen mit einer fortschrittlichen Waferübertragungs- und Beschichtungsausrüstung. Sie besteht aus zwei Kammern: der Wärmezone und der Kühlzone. Die Heizzone ist, wo Sublimations- und Ätzprozesse durchgeführt werden; und die Kühlzone dort ist, wo der Wafer gekühlt und eine Oxidschicht gebildet wird. Das fortschrittliche Waferübertragungssystem ermöglicht eine präzise und wiederholbare Steuerung der Diffusionsparameter für jeden Prozess. TEL ALPHA 303IK verfügt über eine hocheffiziente Heizeinheit, wobei die Wärmezone durch eine IR-Lampe erreicht wird. Diese Lampe befindet sich innerhalb einer Quarzröhre, die einen vom Benutzer eingestellten geregelten Temperaturbereich ermöglicht. Die Lampe emittiert sichtbares Licht und IR-Strahlung, die von der Siliziumscheibe in der Prozesskammer effizient absorbiert wird. Die Maschine ermöglicht auch eine präzise Steuerung des thermischen Profils, indem die Heizrate und die Kühlrate für jede Zone separat gesteuert werden. Darüber hinaus ermöglicht die erweiterte Zwei-Zonen-Temperaturregelung (TZTC) eine präzise Regelung der Temperatur in der Wärmezone und Kühlzone, wodurch gleichmäßige und präzise Diffusionsraten innerhalb der Kammer erreicht werden. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K ist auch in der Lage, hochpräzise Ätz- und Sublimationsprozesse durchzuführen. Das fortschrittliche Beschichtungswerkzeug ermöglicht eine präzise Abscheidung von dünnen Filmen und Schichten sowie Nitridierungs- und Ätzprozesse. Der integrierte Abscheidekopf kann eine Vielzahl von Wafergrößen von 200 mm bis 300 mm sowie unterschiedliche Dicken handhaben. Die integrierte Quarzkammer ermöglicht eine saubere Umgebung während der Verarbeitung. Die Anlage ist auch mit mehreren Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um den Benutzer und das Modell zu schützen. Dazu gehören ein LCD-Display, mit dem der Benutzer alle Diffusionsparameter von außen überwachen kann, sowie eine Not-Aus-Taste, die das Gerät im Notfall schnell abschalten kann. TEL Alpha 303i-K Diffusionsofen ist ein hochentwickeltes und präzises Werkzeug für die Waferbearbeitung. Es verfügt über fortschrittliche Technologien wie ein effizientes Heizsystem, eine Zweizonen-Temperaturregelung und eine integrierte Quarzkammer. Dies ermöglicht präzise Abscheide- und Ätzprozesse sowie Nitridations- und Sublimationsprozesse. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften ist TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK in der Lage, hochwertige, präzise Wafer-Herstellung anzubieten, so dass es eine ausgezeichnete Wahl für jede Entwicklung und Produktion Labor.
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