Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381848 zu verkaufen
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ID: 9381848
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Furnace, 12"
Process: SiGe Poly
Heater type: VMM-56-002
Gases:
SiH4
10%GeH4/H2
1%BCl3/N2
ClF3
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein High-End-Diffusionsofen für vielfältige Anwendungen im Industrie- und Laborbereich. Der Diffusionsofen ist ein vielseitiges Gerät, das entwickelt wurde, um Halbleiterscheiben effizient, zuverlässig und sicher zu bearbeiten. TEL ALPHA 303IK verfügt über ein fortschrittliches Wafer-Verarbeitungssystem, das aus mehreren Kammern besteht, so dass mehrere Prozessschritte separat oder gleichzeitig ausgeführt werden können. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche 3-Zonen-Heizmaschine, die eine leistungsstarke, mehrstufige Thyristor-Stromversorgung verwendet, um die Kammer unabhängig zu erwärmen. Der Waferträger ist eine beheizte Plattform und mechanisch mit der Bearbeitungskammer gekoppelt, wodurch ein gleichmäßiges Temperaturprofil während der Waferbearbeitung ermöglicht wird. Die Prozesskammer ist mit einem direkten Strahlungsrohr ausgebildet, das Temperaturen bis zu 1200 ° C für Diffusions- oder Oxidationsprozesse erreichen kann. Die versiegelte Prozesskammer ist auch für niedrige Partikelzahlen ausgelegt und eignet sich daher ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, die eine saubere, kontaminantfreie Umgebung erfordern. Darüber hinaus verfügt die Kammer über ein modernes Kühlwerkzeug, das eine schnelle Abkühlung der Prozesskammer ermöglicht und die Kammer schnell auf eine vorprogrammierte Umgebungstemperatur zurückführt. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K ist in der Lage, Druck von bis zu einer Atmosphäre aufrechtzuerhalten, und die Reinheit der Atmosphäre wird kontinuierlich überwacht, sowie der Druck der Prozesskammer. Außerdem kann der Benutzer die Sauerstoffkonzentration der Prozesskammer steuern. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K ist mit einer breiten Palette von benutzerfreundlichen Funktionen, wie Aufzeichnung-Halten von Prozessen laufen, Programmierbarkeit für mehrere Wafer-Größen, und Rezeptspeicherfähigkeit. Es ist auch mit einer erweiterten Sicherheitsfunktion ausgestattet, bei der das Modell automatisch abschaltet, wenn Prozessparameter ihre vorprogrammierten Grenzen überschreiten. Insgesamt ist Alpha 303i-K ein idealer Diffusionsofen für eine Vielzahl von Industrie- und Laboranwendungen, der fortschrittliche Waferbearbeitungsfunktionen und eine verbesserte Benutzerfreundlichkeit bietet. Diese Ausrüstung liefert hochgenaue und zuverlässige Ergebnisse, die eine hocheffiziente Verarbeitung von Wafern ermöglichen.
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