Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381862 zu verkaufen
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ID: 9381862
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VOS-56-003
Gas: NH3 / SiH2Cl2 / N2O / SiH4
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das für die Herstellung von Polysiliziumwafern in der Mikroelektronikindustrie verwendet wird. Die Konstruktion des Geräts ermöglicht eine schnelle thermische Verarbeitung und schnelle Kühlung, was es für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen geeignet macht. Es verfügt über eine große Kammer, die in einem langlebigen Stahlgehäuse untergebracht ist, und eine hocheffiziente Luftleitblechausrüstung, die hilft, thermische Verluste zu reduzieren. Die große Kammer kann bis zu 1000 Wafer aufnehmen. TEL ALPHA 303IK verfügt über mehrere verschiedene Zonen und Elektroden, die jeweils für eine bestimmte Rolle im Heiz- und Kühlprozess ausgelegt sind. Dazu gehört eine Heizzone, in der die Temperatur in einem Bereich von 250-1600 Grad Celsius eingestellt werden kann. Eine von 0-125 Grad Celsius einstellbare Kühlzone ist ebenfalls enthalten, die eine schnelle Abkühlung bereits beheizter Wafer ermöglicht. Die heiße Zone verfügt über eine Ionenstrahlpistole, die in der Lage ist, die Temperatur und Ionen genau zu steuern, was zu einer gleichmäßigen Verteilung von Ionen auf den Wafern führt. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K hat eine langlebige Edelstahl-Außenseite und eine vakuumdichte Einheit, so dass es für den Einsatz in Reinraumumgebungen geeignet ist. Es verfügt auch über ein modernes Sicherheitssystem, das die Temperatur und den Druck des Ofens überwacht und anpasst, um eine Überhitzung zu verhindern, was hilft, die Lebensdauer der Einheit zu verlängern und die Produktqualität zu erhöhen. Das Steuergerät verfügt auch über einen LCD-Monitor, mit dem Benutzer die Temperatur und den Druck in der Maschine überwachen können. Neben den thermischen Verarbeitungsmöglichkeiten kommt TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K auch mit mehreren Zubehörteilen, die den Prozess optimieren können. Dazu gehören eine Ionenquelle, ein Isolatorschild und eine Fernbedienung, die alle dazu beitragen, die Genauigkeit des Prozesses zu verbessern und die Kontamination im Werkzeug zu reduzieren. Insgesamt ist Alpha 303i-K Diffusionsofen und Zubehör ein fortschrittliches Stück thermische Verarbeitungsgeräte, das für eine Reihe von Anwendungen geeignet ist. Seine Eigenschaften und Zubehör machen es zu einem zuverlässigen Werkzeug für die Herstellung von hochwertigen Polysilizium-Wafern, die Verunreinigung zu reduzieren und die Effizienz zu maximieren.
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