Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9390670 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör, das Temperaturgleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Stabilität von bis zu ± 3 ° C bietet und es dem Benutzer ermöglicht, eine maximale Ofentemperatur von bis zu 1.000 ° C aufrechtzuerhalten. Dieses Gerät bietet Hochtemperatur-Diffusionsabscheidung und Verarbeitung von zahlreichen Materialien, wie Polysilizium, Wolfram, Silizide und abgeschiedene Hochtemperatur-dielektrische (HTD) Filme. Die Einheit wird mit einer Antiverunreinigungsluftverwaltungsausrüstung entworfen, die von chemischen Arten verursachte Verschmutzung reduziert. TEL ALPHA 303IK bietet eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, einschließlich einer Rückkopplung der thermischen Gleichmäßigkeit auf Waferebene, die in der Lage ist, die Temperatur innerhalb von ± 3 ° C automatisch zu steuern. Sowie ein Emailkabelkabel von bis zu 10% Wärmeübertragungseffizienz, eine fortschrittliche elektrische Steuerung und eine breite Palette von Schutzverriegelungen, um einen sicheren und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Der Diffusionsofen bietet auch Hochtemperatur-Quarzboote für bis zu fünf 6 "-Wafer und optimierte Gerätesteuerungseffektivität. Das Gerät umfasst auch ein einzigartiges Düsendesign mit Spezifikationen und Funktionen, die für eine höhere thermische Massenentnahme sowie eine verbesserte Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Stabilität optimiert sind. Die Diffusionskammer ist in einer DLC-Beschichtung eingeschlossen, die eine schützende chemische Beständigkeit und eine erhöhte Wärmedämmung bietet, um eine einheitliche Wafer-zu-Wafer-Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Um die Robustheit und Haltbarkeit der Einheit weiter zu gewährleisten, ist der Ofenkörper mit einer Doppelwandisoliermaschine ausgelegt. Das Gerät bietet außerdem eine benutzerfreundliche, interaktive grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Benutzer von einem entfernten PC oder Handgerät aus auf das Tool zugreifen, es überwachen oder steuern können. Durch einen Sensordeckel bietet das Gerät auch Echtzeit-Ofenatmosphärensteuerung, Überwachung und Berichterstattung. Darüber hinaus ist die Anlage in der Lage, Temperaturerfassung und Temperaturregelung in einem einzigen Paket bereitzustellen, und alle Modellparameter können für Rückruf-, Referenz- und Vergleichszwecke im internen Speicher gespeichert werden. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K ist ein hochentwickelter Hochtemperatur-Diffusionsofen, der es Anwendern ermöglicht, Materialien schnell und präzise zu verarbeiten, mit minimalem Kontaminationsrisiko. Darüber hinaus ist das Gerät mit Funktionen ausgestattet, die eine automatisierte Steuerung erleichtern und den Benutzern eine Vielzahl von Funktionen und Funktionen bieten. Dadurch eignet sich das Gerät für die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien in einer Vielzahl von Branchen, wie Halbleiter, Solarzellen, Flachbildschirme, LEDs und andere optoelektronische Komponenten.
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