Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394521 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9394521
Wafergröße: 12"
Furnace, 12" Process: MTO.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und Zubehörsystem für präzise Wafering und Substratherstellung. Es eignet sich für eine Vielzahl von Aufgaben, einschließlich Glühen, Oxidation, Bor-Dotierung und Metalllegierung. Ein fortschrittliches automatisches Steuerungssystem mit einer Vielzahl von Funktionen sorgt für höchste Präzision und Wiederholbarkeit. TEL ALPHA 303IK ist mit einem leistungsstarken Netzteil und einem fortschrittlichen Temperaturregelmodul ausgestattet, um eine präzise Temperaturregelung zu gewährleisten. Der Temperaturbereich des Ofens reicht von Raumtemperatur bis 1100 ° C mit der höchsten Temperaturstabilität bei ± 1 ° C. Die Temperaturregelung wird durch eine präzise PID-Automatik-Temperaturregelung gewährleistet. Das Gerät verfügt über ein optionales Wafer-Transfermodul, das für einen schnellen Substrataustausch zwischen Prozess- und Kühlstufen verwendet werden kann. Der schnelle Waferaustausch minimiert die Waferschäden während des Transferprozesses und verbessert die gesamte Produktionseffizienz. Darüber hinaus verfügt das Gerät über Sicherheitsfunktionen wie einen Übertemperaturalarm, eine automatische Gasspülfunktion und ein Prozessüberwachungssystem. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K bietet erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, wie eine Mehrpositions-Steuerschaltung zur präzisen Temperaturregelung. Die programmierbare Eingabe/Ausgabe-Schnittstelle ermöglicht es Benutzern, die Prozessparameter wie Rezept, Temperatur, Druck und Zeit streng zu steuern. Darüber hinaus hat es eine automatische Druckregelfunktion, die die Auslastung des Quellgases maximiert. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verwendet ein physikalisches Aufdampfverfahren, um eine wiederholbare und konforme Filmabscheidung zu gewährleisten. Die Kammer ist zur gleichmäßigen Verteilung des Quellgases ausgebildet und erzeugt eine hohe Gleichmäßigkeit über die Substrate. Dadurch wird sichergestellt, daß die Substrate gleichmäßig und in der gewünschten Tiefe beschichtet werden. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK ist eine zuverlässige und effiziente Ausrüstung für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen, wie der Halbleiterherstellung, Photovoltaikmodulen und MEMS-Herstellung. Es eignet sich für niedrige bis mittlere Fertigungsanforderungen und bietet erstklassige Präzision, Stabilität und Wiederholbarkeit.
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