Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394526 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und Zubehör Verpackung Ausrüstung, die verwendet wird, um eine Vielzahl von Halbleitermaterialien auf Wafern und anderen Substraten abzuscheiden. Es ist ein fortschrittliches digital gesteuertes, vertikales Ofensystem, das die Mehrzyklus-Prozessrezeptprogrammierung unterstützt. Dieses Gerät eignet sich ideal für hochpräzise Diffusions- und/oder Dotierstoffanwendungen. TEL ALPHA 303IK ist mit einem vertikalen Profil konzipiert, das maximale Temperaturen von bis zu 1100 ° C mit Temperaturstabilität und Gleichmäßigkeit von ± 1 ° C über den Arbeitsbereich erreichen kann. Dies wird durch eine präzise elektrische Steuerung der Innenverteilung der Ofenatmosphäre gewährleistet. In Bezug auf die Sicherheit ist TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K mit dreifach gedämpften Kammern ausgestattet, um eine mögliche Oxidation oder Kontamination zu verhindern. Darüber hinaus arbeitet TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK in hohem Durchsatz und ist in der Lage, Chargen von bis zu 15 Wafern mit maximal 32 Wafern pro Mehrzyklusrezept zu handhaben. Es ist auch in der Lage, mit dem Gas der Wahl zu arbeiten, so dass die Dotierung mit N2, Ar, H2, O2 und andere nach Bedarf. Die Maschine hat einen Vakuumzyklus von -7 Torr mit einer Leckrateneigenschaft von weniger als 1 x 10 ^ -7 pa.TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K enthält auch eine Reihe von Zubehörteilen, die den Diffusionsprozess unterstützen. Dazu gehören ein Plasmagenerator, Quarzofen, Partikelfilter und Sicherheitsfilter. Das Werkzeug ist zertifiziert, um SEMI 3, S2 und ESD Sicherheitsstandards zu erfüllen. Zusätzlich kommt TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K mit einem Stromverbrauch von ca. 13kW und einer Standfläche von 78,7 x 80,3 Zoll (2 x 2,04 m). Insgesamt ist TEL Alpha 303i-K eine fortschrittliche digital gesteuerte vertikale Ofenanlage, die hervorragende Leistung für Diffusions- und/oder Dotierstoffanwendungsaufgaben bietet. Es ist mit einer Reihe von Zubehör ausgestattet und zertifiziert, um strenge Sicherheitsstandards zu erfüllen. Dieses Modell ist ideal für diejenigen, die eine zuverlässige, leistungsstarke Lösung für ihre Diffusionsbedürfnisse suchen.