Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394535 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist eine Single-Frame-Großverarbeitungsanlage, die in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Dieses System verfügt über zwei Komponenten, einen Diffusionsofen und eine Zusatzausrüstung. TEL ALPHA 303IK Diffusionsofen bietet viele Vorteile, wie verbesserte Gleichmäßigkeit und schnelle Laufzeiten. Der Ofen selbst hat eine hohe thermische Gleichmäßigkeit von etwa ± 1 ° C über eine breite Fläche des Wafers und kann in etwa 20 Minuten eine Temperatur von 1150 ° C erreichen. Der Ofen hat auch zwei unabhängige Zonen für zwei verschiedene Arten von Prozessfähigkeit ausgelegt. Die Schwimmerzone kann bis zu 1.200 ° C verarbeiten und die Graphitzone kann Temperaturen bis zu 1.700 ° C erreichen. Darüber hinaus ist der Ofen mit einem U-förmigen Quarzrohr ausgebildet, das eine gleichmäßige Erwärmung und Kühlung ermöglicht, um eine hochwertige Folienabscheidung zu gewährleisten. Das Gerät verfügt auch über Zusatzgeräte, die die Verarbeitungsfähigkeit des Ofens verbessern. Dazu gehören ein computergesteuerter Waferlader/Entlader, vier Sätze von berührungslosen Vakuum-Ein/Aus-Kapazitätsmessstreifen, drei Arten von Heißfutteroptionen, eine unabhängige Vorwärmestation und eine Gaszuführungsmaschine. Mit dem Waferlader/Entlader können Wafer automatisch mit Präzisionssteuerung be- und entladen werden. Die berührungslosen Messgeräte ermöglichen eine präzise Messung der Wafertemperatur, während die Heißfutter-Optionen die thermische Gleichmäßigkeit über den Wafer erhöhen. Die unabhängige Vorwärmstation sorgt für eine schnelle Vorwärmzeit bei hoher Wafertemperaturgleichförmigkeit, während das Gaszufuhrwerkzeug eine Vielzahl von Prozessgasen für die zuverlässige Abscheidung von Folien liefert. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K eine ausgezeichnete Diffusionsofenanlage, die robuste Leistung mit zuverlässigen Ergebnissen liefert. Dank seiner vielfältigen Verarbeitungsmöglichkeiten ist es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Prozessen. Der computergesteuerte Wafer-Lader/Entlader, die unabhängige Vorwärmestation und die berührungslosen Vakuum-Ein/Aus-Kapazitätsmessgeräte tragen zur Effizienz und Genauigkeit des Modells bei. Der Ofen mit seiner hohen thermischen Gleichmäßigkeit von ± 1 ° C auf breiter Fläche gewährleistet die Herstellung hochwertiger Folien mit kurzen Laufzeiten.