Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394982 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9394982
Wafergröße: 12"
Furnace, 12" MTO.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör. Es ist für den Einsatz in industriellen Anwendungen wie Metallhärtung, Halbleiterherstellung und Solarzellenproduktion konzipiert. Seine Struktur besteht aus einer isolierten Kammer zum Heizen von Vakuum und einem Rahmen zur Aufnahme des Diffusionsofens und Zubehör. Die Kammer ist aus Edelstahl gefertigt, um eine hohe thermische Stabilität zu gewährleisten. Sein Innenvolumen kann bis zu acht Wafer aufnehmen. TEL ALPHA 303IK ist mit einem SmartAligner 2.0-System ausgestattet, das ein dielektrisches Filter verwendet, um die Tauchlinse leicht auf den Wafer auszurichten. Es verfügt auch über erweiterte optische Elemente für verbesserte Bildqualität. Der Diffusionsofen von TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verfügt über eine Dual-Source-Sublimationsheizung, die eine Reihe von Temperaturregelungen von Raumtemperatur bis 600 ° C ermöglicht. Ein Sekundärheizelement bietet zusätzliche Flexibilität beim Betrieb bei niedriger Temperatur. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist mit einer Vielzahl von Zubehörteilen ausgestattet, einschließlich einer Vakuumpumpe und einer Wärmedämmeinheit, um eine verbesserte Gleichmäßigkeit des Substrats zu gewährleisten. Es verfügt auch über eine Turbopumpe zur schnellen Evakuierung der Kammer und ein Thermoelement zur Messung der Temperatur in der Kammer. Darüber hinaus enthält ALPHA 303 I K eine integrierte Software zur Verwaltung von Prozessparametern wie Temperatur und Luftstrom sowie zur Steuerung der Waferlast. Die Software wird empfohlen, um die Prozessergebnisse zu analysieren und den Betrieb der Geräte zu optimieren. Alpha 303i-K ist ein zuverlässiger und effizienter Diffusionsofen und Zubehör, der für eine Reihe von industriellen Anwendungen geeignet ist. Es verfügt über eine isolierte Kammer und fortschrittliche optische Komponenten zur genauen Temperaturregelung, während seine integrierte Software eine bessere Steuerung und Prozessoptimierung bietet.
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