Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394986 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und Zubehör. Dieser Diffusionsofen ist mit einem einzigartigen Dual-Pocket-Design ausgestattet, das eine optimierte In-situ-Quellgaszirkulation unterstützt, die eine verbesserte Quelleneffizienz und gute Homogenität während des Diffusionsprozesses bietet. Es verfügt über eine warmwandige Ladekammer mit einer separaten heißen Zone in der Mitte, die eindirektionale Einwärtsgasströmung durch die Quelleintrittsöffnungen ermöglicht. Dies wiederum bildet ein effizientes Strömungsmuster, das die Gleichmäßigkeit für bessere Prozessergebnisse erhöht. Das Dual-Pocket-Design von TEL ALPHA 303IK minimiert auch den thermischen Gradienten zwischen der Quelltasche und dem Rest der Kammer, um statische Druckschwankungen zu minimieren und eine stabilere Aluminiumoxid- und Aluminiumdotierungsabscheidung zu ermöglichen. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verfügt auch über einen einfach zu bedienenden programmierbaren Controller. Dieser Regler ermöglicht eine maximal vierstufige programmierbare Neutronenflussmodulation. Dadurch kann sie schnell auf Schwankungen der Quellenaktivität reagieren und gleichzeitig eine gleichmäßige Quellkonzentration über den gesamten Wafer beibehalten. Der Regler ermöglicht auch eine bis zu 4-Zonen-Temperaturregelung mit bis zu ± 2 ° C Genauigkeit, um sicherzustellen, dass die Temperatur während des Diffusionsprozesses genau eingehalten wird. Dieser Diffusionsofen ist energieeffizient ausgelegt und verwendet eine dreistufige Wärmebehandlungsmethode zur schrittweisen Rückgewinnung der Vorwärmetemperatur und ermöglicht es dem Benutzer, die Rückgewinnungsdauer von 0 bis 40 Minuten anzupassen. Es verfügt auch über eine integrierte Auto-Recovery-Funktion, die verschiedene Betriebsparameter überwacht und den Ofen automatisch in einen bestimmten Startzustand zurückversetzt. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen gekoppelt, um höchste Sicherheitsstandards während des Betriebs zu gewährleisten. Es ist mit Kammerleckerkennungsschaltern, Thermoelement-Bruchüberwachung, Strahlenschutzvorrichtung, einem Verriegelungssicherheitssystem und Notabschaltsystem ausgestattet, die alle helfen, einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Zusätzlich wird ein Einlassfilter installiert, um zu verhindern, dass Partikel und andere Verunreinigungen in die Kammer gelangen und den Diffusionsprozess stören. Abschließend ist TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK ein besonders zuverlässiger und energieeffizienter Diffusionsofen und Zubehör, der einen stabilen Betrieb mit optimaler Effizienz garantiert. Seine In-situ-Quelle Gaszirkulation, programmierbare Steuerung mit Flussmodulation, energieeffiziente Wärmebehandlung und umfassende Sicherheitsmerkmale machen es alle für die Mikroelektronik-Diffusion geeignet.