Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394987 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9394987
Wafergröße: 12"
Furnaces, 12" TEOS.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K ist ein Diffusionsofen und sein Zubehör für die Halbleiterindustrie. TEL ALPHA 303IK fungiert als effiziente, wartungsarme und leistungsstarke Lösung für Diffusionsprozesse. TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K verwendet eine lineare Düsenheizung, die eine gleichmäßige Temperaturverteilung über den Wafer gewährleistet. Zudem bietet es durch seine präzise Temperaturregelung eine hervorragende Wafer-Gleichmäßigkeit. Das System ist mit einer Hochtemperatur-Quarzheizung ausgestattet, um konstant optimale thermische Bedingungen zu gewährleisten. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK verwendet eine proprietäre digitale Heizeinheit, die innovative Funktionen kombiniert, um eine gleichmäßige Wärmeabgabe, eine verbesserte Prozesssteuerung und höchste Zuverlässigkeit zu erreichen. Diese Maschine verfügt über unabhängige Temperaturhierarchie Steuerung, Impulsheizung und lokalisierte thermische Zykluskompensation für optimale Temperaturfähigkeit. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K bietet viele zusätzliche Vorteile wie Gasverteilungsplatten für präzisen und konstanten Gasfluss, einstellbare Gasflussplatten zur Einstellung des entsprechenden Gasleitungsdrucks, reduzierte Perioden der unkritischen Wärme und anspruchsvolle Messfunktionen. Außerdem weist das Werkzeug maximal 15 Heizstufen auf, die unterschiedlichen Temperaturbereichen zugeordnet werden können. TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK wurde entwickelt, um hochgenaue Prozessergebnisse zu liefern und eine wiederholbare Prozesssteuerung zu gewährleisten. Es hat einen großen Temperaturbereich von 200-1100 Grad Celsius, mit außergewöhnlicher Temperaturgleichförmigkeit. Darüber hinaus verfügt der fortschrittliche Controller über eine prägnante und intuitive Benutzeroberfläche. Das Diffusionszubehör von TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K bietet zudem beste Voraussetzungen für optimale Prozessqualität. Dieses Zubehör verfügt über eine aktive Abgasbaugruppe, die Thermoelemente verwendet, um die Abgasleitungstemperaturen, einen Luftspalt-Abgasdämpfer und eine Abgasversorgungssteuerung zu steuern, um einen ordnungsgemäßen Abluftstrom sicherzustellen. Es bietet auch automatisierte Reinigungs- und Ofenwartungsfunktionen sowie eingebettete Protokollierungs- und Berichtsfunktionen. Zusammenfassend ist ALPHA 303IK ein überlegener Diffusionsofen und sein Zubehör. Seine Eigenschaften bieten überlegene Temperaturregelung, hohe Gleichmäßigkeit, ausgezeichnete Prozessstabilität und effiziente Abgas- und Wartungsmöglichkeiten. All diese Eigenschaften garantieren höchste Prozessqualität und Produktivität.
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